Ionenstrahl
Ein Ionenstrahl ist ein Strahl, der durch die Beschleunigung von Ionen bei hoher Geschwindigkeit erzeugt wird. Ionen sind positiv oder negativ geladen
Atome oder Atomgruppen. Ionenbeschleunigung ist die Bewegung von Ionen zu ihrem Ziel durch Anwendung einer beliebigen
Spannung. Der Impuls des Beschleunigers ist proportional zur angelegten Spannung. Je nach Anwendung von
Ionentransfer, die Elektroden, die Spannung anlegen, sind Beschleunigungselektrode, Extraktionselektrode, Unterdrückung
Elektrode, Ablenkelektrode, Ablenkelektrode usw. Sie werden in Ionenmotoren, Ionenstrahlzerstäubung, Ionenstrahlzerstäubung,
Implantation, fokussierter Ionenstrahl (FIB) und Beschleuniger. Um zu verhindern, dass das Potential im Gerät
Da es in Richtung des beschleunigten Ionenpotentials vorgespannt ist, ist es in einigen Fällen möglich, dass es elektrisch neutralisiert wird
durch Beschleunigung von Ionen zur Erzeugung von Ionen.
Zur Erzeugung eines Ionenstrahls für das FIB wird eine Flüssigmetallionenquelle (LMIS) aus nadelartigen Wolframdrähten eingesetzt.
mit Gallium verbunden ist. Wenn der Glühfaden erhitzt wird und eine Spannung an die Extraktionselektrode angelegt wird,
Von der Spitze aus wird ein Ionenstrahl erzeugt. Die entstehenden Ionen werden dann durch die elektrischen und magnetischen Felder gesteuert
des Beschleunigers, wodurch ein schmaler, gerichteter Fluss entsteht. Die Ionenstrahlsteuerung wird zum Scannen des Ionenstrahls verwendet. Die Ionen
Die aus der Ionenquelle extrahierten Ionen werden durch eine Kondensorlinse (CL) fokussiert und der Ionenstrahl wird durch ein elektrostatisches
Deflektor. Ionenstrahlen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, wie z. B. Ionenstrahlinjektion, Ionenstrahlverarbeitung,
und Rasterionenmikroskopie (SIM).
Ein Ionenstrahlgenerator besteht aus einer Ionenquelle (Ionenkanone), einer elektromagnetischen Linse in einem Beschleuniger und einem
Deflektor. Ionenstrahlen werden durch Beschleuniger geleitet, um Fremdionen in Halbleiter zu injizieren,
Oberflächenreinigung durch Ionenstrahlätzen, Oberflächenbehandlung, Oberflächenmodifizierung sowie Oberflächen- und Innenanalyse.
Der Ionenstrahl wird im Vakuum durch ein elektrisches Feld beschleunigt und verzögert und durch ein Magnetfeld abgelenkt.
Die Ionenmassentrennung erfolgt durch die Ablenkung der Ionen in einem Magnetfeld, die Energieanalyse erfolgt durch
Methode der Verzögerung elektrischer Felder und Analyse der Ablenkung statischer elektrischer Felder.
Wisman bietet eine breite Palette von Leistungsgeräten für Ionenbeschleunigung, -extraktion, -unterdrückung, -ablenkung, -fokussierung,
Vernetzung und Neutralisierung. Wisman Stromversorgungen für elektrostatische Deflektoren sind in einer breiten Palette von
Spezifikationen, insbesondere bieten wir Hochspannungsverstärker mit der weltweit höchsten Reaktionsgeschwindigkeit an.
Mit der DC-Bias-Funktion können Sie den Scan-Referenzpunkt des Scans einfach anpassen.
Ionenstrahl-Stromversorgung:
SEM, HEM, EM
