EBL Hochspannungsnetzteil

EINFÜHRUNG

Das EBL-Hochspannungsnetzteil von Wisman ist für Präzisions-Elektronenstrahlanwendungen wie Halbleiter-Nanolithographie, Mikrooptik und Entwicklungsmaskenarbeit konzipiert. Es weist extrem geringe Welligkeit und ausgezeichnete Stabilitätsspezifikationen auf und eignet sich daher sehr gut für Anwendungen mit sehr hohen Anforderungen. Bietet wählbaren niedrigen Ausgangsstrom und hohen Ausgangsstrombereich.

Der Hochspannungsteil der festen Kapselung beseitigt jegliche Wartungsprobleme durch den Benutzer und isoliert die Komponenten von Umgebungsvariablen. Das Gerät ist vollständig gegen Überlastung, Lichtbogen und Kurzschluss geschützt. Bietet Fernprogrammierungs- und Überwachungsfunktionen. Ermöglicht eine genaue passive Messung der Hochspannungsausgabe. Optional USB 2.0, Netzwerkanschluss, RS-232, RS485-Digitalkommunikation, kann entsprechend den Benutzeranforderungen angepasst werden.

TYPISCHE ANWENDUNG

Mikrooptik
Halbleiterlithographie
Halbleiterbelichtungsmaschine
Maske

SPEZIFIKATION

Eingangsspannung:
220 V Wechselstrom, ±101111111111, einphasig, 50/60 Hz
Die Ausgangsspannung:
0 bis 100 kV, negative Polarität. Externer Schalter kann 105 kV, ±500 V wählen
Ausgangsstrom: 0–10 μA, niedriger Bereich, 0–100 μA, hoher Bereich
Schalter optional
Spannungsregelung: ±0,00% der Nennspannung innerhalb des angegebenen Eingangsspannungsbereichs

Lastregelung:
≤20 V, Strom ändert sich von 25 μA auf 60 μA und von 60 μA auf 25 μA
Welligkeit: Spitze-Spitze-Wert ≤ 70 mV
Hochspannungs-Mikroentladung: Weniger als 200 mV
Stabilität: Nach 6 Stunden Vorheizen, 0,00% alle 8 Stunden, beträgt die Temperatur 20℃±0,2℃
Temperaturkoeffizient: 25 ppm pro Grad Celsius im Bereich von 10 °C bis 40 °C
Umwelt:
Betriebstemperatur: 0 bis 40 Grad Celsius
Lagertemperatur: -40 bis 85 Grad Celsius
Luftfeuchtigkeit: 10 bis 901111111111 RH, keine Kondensation
Kühlung: Konvektionskühlung
Vorderseite:
Ein-/Ausschalter
HV-Ein-/Ausschalter
HV-Ein/Aus-Anzeige
Analoges Ausgangsvoltmeter
Abmessungen: 10,25 H x 19 B x 27 T (26,7 cm x 48,3 cm x 55,9 cm)
Gewicht: 50 kg