EIB Hochspannungsnetzteil

EINFÜHRUNG

Die EIB-Serie von Wisman ist eine umfassende Hochspannungsstromversorgung mit mehreren Ausgängen, die speziell für die Fokussierung von Ionenstrahlen vorgesehen ist. Typische Anwendungen sind Transmissions- und Rasterelektronenmikroskope, Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Laufwerksköpfen, Ionen, Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithografie. Die modulare Designmethode ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnologie ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrieren Sie Beschleunigungsstromversorgung, Glühfadenstromversorgung, absorbieren Sie Polarleistung, hemmen Sie Polarleistung und Linsenleistung. Ultraniedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die hochpräzisen Module der EIB-Serie sind preisgünstig und ideal für OEM-Anwendungen.

TYPISCHE ANWENDUNG

Transmissions-Rasterelektronenmikroskopie
Rasterelektronenmikroskopie
Halbleiteranalyse

Fräsen und Reparatur
Ionenstrahlätzen
Fokussierte Ionenstrahllithographie

Welligkeit 2 ppm

SPEZIFIKATION

Eingang: DC24V, 47 bis 63Hz

Beschleuniger-Stromversorgung:

Ausgangsspannung: 0 bis 45 KV
Ausgangsstrom: 30μA
Welligkeit: 200 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingangsänderung +/-10% um 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: 1,5 V/10 Stunden nach 2 Stunden Aufwärmzeit
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Filament-Stromversorgung
Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC
Ausgangsstrom: 0 bis 5 A
Welligkeit: 10 mA PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: +/-10% Umstellung auf 5mA
Lastregelung: ± 0,%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: 5 mA/10 Minuten nach 2 Stunden Aufwärmzeit
Temperaturkoeffizient: 200 PPM / °C

Entstörstromversorgung

Ausgangsspannung: -2kv-2kv
Ausgangsstrom: 30 uA
Welligkeit: 60 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung auf 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Stromversorgung des Extraktors
Ausgangsspannung: 0 bis -15KV
Ausgangsstrom: 400μA
Welligkeit: 100 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHZ, unter 30μA
Leitungsregelung: Eingang + / -10% Änderung beträgt 100 mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Objektiv A Stromversorgung
Ausgangsspannung: 0 bis -40KV
Ausgangsstrom: 30μA
Welligkeit: 150 mV PP von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung beträgt 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: nach 2 Stunden Vorwärmen, 1V/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Stromversorgung für Objektiv B
Ausgangsspannung: 0 bis 25 KV
Ausgangsstrom: 30μA
Welligkeit: 150 mV PP von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung beträgt 100mV
Lastregelung: ± 0,005%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: nach 2 Stunden Vorwärmen, 1V/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C