EM Hochspannungsnetzteil

EINFÜHRUNG

Die EM-Serie von Wisman ist für die Stromversorgung des Elektronenstrahls von Rasterelektronenmikroskopen konzipiert. Sie bietet Beschleunigungsleistung, Vorspannungsleistung und Glühfadenleistung in einem kompakten Gehäuse. Gleichzeitig integriert sie die häufig verwendete Szintillatorstromversorgung, PMT-Stromversorgung und Kollektorstromversorgung für Elektronenmikroskope. Sie bildet die Stromversorgung des Elektronenmikroskopsystems. Durch das eigene Hochspannungsdesign und die Verpackungstechnologie von Wisman sind die Hochspannungsstromversorgungen der EM-Serie für Elektronenmikroskope eine deutliche Verbesserung in Größe, Kosten und Leistung. Die EM-Serie bietet hervorragende Einstellbarkeit, hohe Zuverlässigkeit sowie geringe Welligkeit und hohe Stabilität. Die Beschleunigungsstromversorgungsspannung kann von 0 bis -30 kV eingestellt werden, und der Strom beträgt 300 uA. Die EM-Serie bietet eine Referenzbeschleuniger-Aufhängungsvorspannung und eine Glühfadenstromversorgung. Die Stromversorgung verwendet eine vollständig digitale Kommunikationssteuerung, um den Einfluss von externem Rauschen auf das System zu minimieren, und bietet eine auf Masse bezogene Anzeige des Beschleunigungspolstroms. Die EM-Serie von Wisman verfügt über Lichtbogen-, Kurzschluss-, Überspannungs- und Überstromschutzfunktionen.

Typische Anwendungen:

SEM (Rasterelektronenmikroskop)

Elektronenstrahl

Metall-3D-Drucker

Vakuumpistole

Ionenstrahlätzen

Fokussierte Ionenstrahllithographie

Wissenschaftliches Experiment

Industrielle Anwendungen

SPEZIFIKATIONEN

Eingangsspannung: +24Vdc, ±5%,

Beschleuniger-Stromversorgung

Hochspannungsausgänge:

Ausgangsspannung:

Der Ausgangsbereich des EM20N4 reicht von 20 V bis 20 kV; der Ausgangsbereich des EM30N6 reicht von 30 V bis 30 kV

0 V bis -20 kV Volllast gegenüber Erde

Ausgangsstrom: 200μA maximal

Lastregelung: <±100 ppm (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: <±100 ppm (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: <10 ppm

Temperaturkoeffizient: 25ppm/°C

Stabilität: 10 ppm/3 Minuten nach 1 Stunde Aufwärmzeit

BIAS-Stromversorgung

Ausgangsspannung: Bereich von 0 bis -2000 VDC

Ausgangsstrom: 0–150 uA.

Lastregelung: ≤ 0,21111111111 (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: ≤0,% (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: ≤ 10 ppm.

Temperaturkoeffizient: 25 ppm/℃.

Stabilität: 0,00%1/3 Min. nach 1 Stunde Aufwärmzeit.

Filament-Stromversorgung

Ausgangsstrom: Der Ausgangsstrom reicht von 0 bis 3 A, Last 1 Ω.

Lastregelung: ±0,% (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: ± 0,% (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: ≤ 0,%1.

Temperaturkoeffizient: 25 ppm/℃.

Stabilität: 100 ppm/10 Min. nach 1 Stunde Aufwärmzeit.

Szintillator-Stromversorgung (optional)

Ausgangsspannung: reicht von 0~ 10kVdc,

Ausgangsstrom: 0–250 uA.

Lastregelung: <0,00% (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: ≤ 0,00% (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: ≤ 0,00%.

Temperaturkoeffizient: 25 ppm/℃.

Stabilität: ≤ 0,007% /h. ≤ 0,0%1 /8h, nach 1 Stunde Aufwärmzeit

Kollektor-Stromversorgung (optional)

Ausgangsspannung: reicht von 0~ 400Vdc,

Ausgangsstrom: 0–500 uA.

Lastregelung: ±0,00% (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: ±0,00% (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: ≤ 0,00%1,

Temperaturkoeffizient: 25 ppm/℃.

Stabilität: ≤ 0,007% / Std. ≤ 0,01 % / 8 Std., nach 1 Stunde Aufwärmzeit

Stromversorgung für Mikrokanalplatten (optional)

Ausgangsspannung: Bereich von 0 bis 1500 VDC.

Ausgangsstrom: 0–1000 uA.

Lastregelung: 0,00% (von Leerlauf bis Volllast).

Leitungsregelung: ±0,00% (Eingangsspannungsänderungen 10%).

Welligkeit: ≤ 0,00%.

Temperaturkoeffizient: 25 ppm/℃.

Stabilität: ≤ 0,007% / Std. ≤ 0,0%1 / 8 Std., nach 1 Stunde Aufwärmzeit