HEM Hochspannungsnetzteil

EINFÜHRUNG

Die HEM-Serie der Hochspannungsnetzteile Wisman ist ein umfassendes Hochspannungsnetzteil mit mehreren Ausgängen, das speziell für die Fokussierung von Ionenstrahlen vorgesehen ist. Typische Anwendungen umfassen Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie, Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Laufwerksköpfen, Ionen, Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithografie. Die modulare Designmethode ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnologie ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrieren Sie Beschleunigungsstromversorgung, Glühfadenstromversorgung, absorbieren Sie Polarleistung, hemmen Sie Polarleistung und Linsenleistung. Ultraniedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die hochpräzisen Module der HEM-Serie sind preisgünstig und ideal für OEM-Anwendungen.

TYPISCHE ANWENDUNG
Transmissions-Rasterelektronenmikroskop
Rasterelektronenmikroskop
Halbleiteranalyse

Verarbeitung und Reparatur
Ionenstrahlätzen
Fokussierte Ionenstrahllithographie
Welligkeit 2 ppm

SPEZIFIKATION

Eingang: DC24V, 47 bis 63Hz

Beschleunigerleistung
Ausgangsspannung: 0 bis -35KV
Ausgangsstrom: 450μA
Welligkeit: 70 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingangsänderung +/-10% um 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: nach 2 Stunden Aufwärmzeit, 1,5V/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Filament-Stromversorgung
Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC
Ausgangsstrom: 0 bis 5 A
Welligkeit: 10 mA PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: +/-10% Umstellung auf 5mA
Lastregelung: ± 0,%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: 5 mA/10 Minuten nach 2 Stunden Aufwärmzeit
Temperaturkoeffizient: 200 PPM / °C

Schalldämpferleistung
Ausgangsspannung: -10 V bis -2 kV
Ausgangsstrom: 300 uA
Welligkeit: 20 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung auf 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Leistung des Extraktors

Ausgangsspannung: 0 bis -15KV
Ausgangsstrom: 400μA
Welligkeit: 30 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHZ, unter 30μA
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung beträgt 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C