HSEM Hochspannungsnetzteil

EINFÜHRUNG

Die Hochspannungsnetzteile der HSEM-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzteile mit mehreren Ausgängen, die speziell für die Fokussierung von Ionenstrahlen vorgesehen sind. Typische Anwendungen umfassen Transmissions- und Rasterelektronenmikroskope; Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Laufwerksköpfen, Ionen; Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithografie. Die modulare Designmethode ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnologie ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrieren Sie Beschleunigungsstromversorgung, Glühfadenstromversorgung, absorbieren Sie Polarleistung, hemmen Sie Polarleistung und Linsenleistung. Ultraniedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die hochpräzisen Module der HSEM-Serie sind preisgünstig und ideal für OEM-Anwendungen.

TYPISCHE ANWENDUNG

 

Transmissions-Rasterelektronenmikroskopie
Rasterelektronenmikroskopie
Halbleiteranalyse

Fräsen und Reparatur
Ionenstrahlätzen
Fokussierte Ionenstrahllithographie

Welligkeit 2 ppm

SPEZIFIKATION

Eingang: DC24V, 47 bis 63Hz

Beschleuniger-Stromversorgung

Ausgangsspannung: -200 V bis -60 KV
Ausgangsstrom: 300μA
Welligkeit: 120 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingangsänderung +/-10% um 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: 1,5 V/10 Stunden nach 2 Stunden Aufwärmzeit
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Filament-Stromversorgung

Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC
Ausgangsstrom: 0 bis 5 A
Welligkeit: 10 mA PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: +/-10% Umstellung auf 5mA
Lastregelung: ± 0,%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: 5 mA/10 Minuten nach 2 Stunden Aufwärmzeit
Temperaturkoeffizient: 200 PPM / °C

Entstörstromversorgung
Ausgangsspannung: -10 V bis -2 kV
Ausgangsstrom: 300 uA
Welligkeit: 20 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHz
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung auf 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C

Stromversorgung des Extraktors

Ausgangsspannung: 0 bis -15KV
Ausgangsstrom: 400μA
Welligkeit: 30 mV PP, von 0,1 Hz bis 1 MHZ, unter 400μA
Leitungsregelung: Eingang +/-10% Änderung beträgt 100mV
Lastregelung: ± 0,0%, Maximalspannung, Volllaständerung
Stabilität: Nach Vorwärmen für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden
Temperaturkoeffizient: 25 PPM / °C