Europäischer Rechnungshof

Leistung (W): 6

Max. Ausgangsspannung (KV): 2

Funktionen und Vorteile:

Zuverlässige Klemm-/Lösezustandserkennung durch Wafersensor

Schnelle Reaktion des Verstärkerarchitekturdesigns (Design „ohne Relaispolaritätsumkehr“ für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer.)

„Zweikanalige unabhängige Steuerung (Option)“ und „Mittelabgriffsspannungseinstellung (Option)“ für verschiedene Spann-/Lösevorgänge

Ausgestattet mit LAN, USB, RS-232C Digitalschnittstelle

Eingebauter Tiefpass-HF-Filter (13,56 MHz)

Die ECA-Serie umfasst Hochspannungsverstärker für elektrostatische Chucks (E-Chuck, ESC). Neben Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet diese Serie auch ein Waferüberwachungssystem für Waferinspektionsanforderungen. Darüber hinaus unterstützt die Serie mit einem weiten Spannungsbereich Coulomb- und Johnsen-Rahbek-Elektrostatik-Chucks.

Typische Anwendung:

Elektrostatisch angetriebene Materialhandhabung

Halbleiter-Wafer-Verarbeitung

Nichtmechanischer Transport von Flachblechen oder anderen verarbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren

Funktionen und Vorteile:

Zuverlässige Klemm-/Lösezustandserkennung durch Wafersensor

Schnelle Reaktion des Verstärkerarchitekturdesigns (Design „ohne Relaispolaritätsumkehr“ für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer.)

„Zweikanalige unabhängige Steuerung (Option)“ und „Mittelabgriffsspannungseinstellung (Option)“ für verschiedene Spann-/Lösevorgänge

Ausgestattet mit LAN, USB, RS-232C Digitalschnittstelle

Eingebauter Tiefpass-HF-Filter (13,56 MHz)