Haz de iones
Un haz de iones es un haz producido al acelerar iones a altas velocidades. Los iones tienen carga positiva o negativa.
átomos o grupos de átomos. La aceleración iónica es el movimiento de iones hacia su destino aplicando una velocidad arbitraria.
Voltaje. El impulso del acelerador es proporcional al voltaje aplicado. Según la aplicación de
transferencia de iones, los electrodos que aplican voltaje son electrodo de aceleración, electrodo de extracción, supresión
Electrodo, electrodo de deflexión, electrodo de deflexión, etc. Se utilizan en motores de iones, pulverización catódica de haces de iones, iones.
implantación, haz de iones enfocados (FIB) y aceleradores. Para evitar que el potencial dentro del dispositivo se
Al estar sesgado hacia el potencial iónico acelerado, en algunos casos es posible que se neutralice eléctricamente.
acelerando iones para producir iones.
Para generar un haz de iones para el FIB, se utiliza una fuente de iones metálicos líquidos (LMIS) que consta de alambres de tungsteno con forma de aguja.
Se utiliza conectado con galio. Cuando el filamento se calienta y se aplica un voltaje al electrodo de extracción,
Se genera un haz de iones desde la punta. Los iones resultantes son luego controlados por los campos eléctricos y magnéticos.
del acelerador, formando un flujo direccional estrecho. El control del haz de iones se utiliza para el escaneo con haz de iones. los iones
extraídos de la fuente de iones se enfocan mediante una lente condensadora (CL) y el haz de iones se escanea mediante un electrostático.
deflector. Los haces de iones se utilizan en una amplia gama de aplicaciones, como la inyección de haces de iones, el procesamiento de haces de iones,
y microscopía iónica de barrido (SIM).
Un generador de haz de iones consta de una fuente de iones (pistola de iones), una lente electromagnética en un acelerador y un
deflector. Los haces de iones pasan a través de aceleradores para la inyección de iones de impurezas en semiconductores,
Limpieza de superficies mediante molienda de iones, tratamiento de superficies, modificación de superficies y análisis interno y de superficies.
El haz de iones se acelera y desacelera en el vacío mediante un campo eléctrico y se desvía mediante un campo magnético.
La separación de masas de iones se lleva a cabo doblando iones en un campo magnético, y el análisis de energía se lleva a cabo mediante
Método de desaceleración del campo eléctrico y análisis de deflexión del campo eléctrico estático.
Wisman ofrece una amplia gama de dispositivos de potencia para aceleración, extracción, supresión, desviación, enfoque,
mallado y neutralización. Wisman las fuentes de alimentación para deflectores electrostáticos están disponibles en una amplia gama de
especificaciones, en particular ofrecemos amplificadores de alto voltaje con el nivel más alto de velocidad de respuesta del mundo.
Con la función de polarización de CC, puede ajustar fácilmente el punto de referencia del escaneo.
Fuente de alimentación del haz de iones:
SEM, dobladillo, EM
