Fuente de alimentación de alto voltaje EBL

INTRODUCCIÓN

La fuente de alimentación de alto voltaje EBL de Wisman está diseñada para aplicaciones de haz de electrones de precisión, como nanolitografía de semiconductores, microóptica y trabajo con máscara de revelado. Tiene una ondulación ultrabaja y excelentes especificaciones de estabilidad, lo que la hace muy adecuada para aplicaciones con demandas muy estrictas. Proporciona un rango de corriente de salida baja y alta seleccionables.

La parte de alto voltaje de la encapsulación sólida elimina cualquier problema de mantenimiento del usuario al mismo tiempo que aísla los componentes de las variables ambientales. El dispositivo está totalmente protegido contra sobrecargas, arcos eléctricos y cortocircuitos. Proporciona funciones de programación y monitoreo de control remoto. Permite una medición pasiva precisa de la salida de alto voltaje. USB 2.0 opcional, puerto de red, comunicación digital RS-232, RS485, se puede personalizar según los requisitos del usuario.

APLICACIÓN TIPICA

Microóptica
Litografía de semiconductores
Máquina de exposición de semiconductores
Mascarilla

ESPECIFICACIÓN

Voltaje de entrada:
220 V CA, ±10%, monofásica 50/60 Hz
El voltaje de salida:
0 a 100 kV, polaridad negativa. El interruptor externo puede elegir entre 105 kV y ±500 V.
Corriente de salida: 0-10 μA, rango bajo, 0-100 μA, rango alto
Interruptor opcional
Regulación de voltaje: ±0,00 del voltaje nominal dentro del rango de voltaje de entrada especificado

Regulación de carga:
≤20 V, la corriente cambia de 25 μA a 60 μA y de 60 μA a 25 μA
Ondulación: valor pico a pico ≤ 70 mV
Microdescarga de alto voltaje: menos de 200 mV
Estabilidad: Después de 6 horas de precalentamiento, 0,00%1 cada 8 horas, la temperatura es de 20 ℃ ± 0,2 ℃
Coeficiente de temperatura: 25 ppm por grado Celsius en el rango de 10 °C a 40 °C
Ambiental:
Temperatura de funcionamiento: 0 a 40 grados centígrados
Temperatura de almacenamiento: -40 a 85 grados Celsius
Humedad: 10 a 90% HR, sin condensación
Enfriamiento: Enfriamiento por convección
Panel frontal:
Interruptor de encendido/apagado
Interruptor de encendido y apagado de alto voltaje
Indicador de encendido y apagado de alto voltaje
Voltímetro de salida analógica
Dimensiones: 10,25 alto x 19 ancho x 27 profundidad (26,7 cm x 48,3 cm x 55,9 cm)
Peso: 116 libras (50 kg)