CE

1. Mejora la eficiencia y el rendimiento de las obleas tres veces más que las fuentes de alimentación normales;

2. Reduzca los errores de gas en la parte trasera, mejore el rendimiento y elimine los problemas de rotura o rotura de oblea;

3. Parámetros de control como sobrecorriente, presencia de oblea y umbrales de abrazadera de oblea, voltaje de abrazadera, voltaje de compensación y controles de amplitud/compensación internos o externos;

4 、 la versatilidad del control de amplitud/compensación y salida durante el ajuste;

5. Controle la salida mediante E/S del panel posterior, comandos de computadora en serie o controles del panel frontal;

6 、 Configuración de abrazadera personalizada y secuencia de extracción de abrazadera y forma de onda;

7 、 Interfaz de control del panel frontal bloqueable;

8. Admite tecnologías ESC Coulombic y Johnsen-Rahbek

9. Esta sección describe cómo cargar el archivo de configuración de un mandril electrostático en el dispositivo y almacenarlo en el dispositivo mediante una interfaz de software fácil de usar;

10. La detección de oblea incluye estado libre, presencia de oblea o estado de oblea sujeta

La serie EC Wisman de fuentes de alimentación con ventosa electrostática impulsadas por software proporciona una variedad de características para satisfacer una amplia gama de aplicaciones exigentes. El instrumento utiliza tecnología de amplificador Wisman, que se ha demostrado que aumenta la eficiencia y el rendimiento hasta tres veces más que otras fuentes de energía. Reduzca los errores de gas en la parte trasera, mejore el rendimiento y elimine los problemas de rotura o rotura de oblea; Parámetros de control como sobrecorriente, presencia de oblea y umbrales de abrazadera de oblea, voltaje de abrazadera, voltaje de compensación y controles de amplitud/compensación internos o externos; La versatilidad del control de amplitud/compensación y salida durante el ajuste; Controle la salida mediante E/S del panel posterior, comandos de computadora en serie o controles del panel frontal; Configura secuencias y formas de onda personalizadas de sujeción y eliminación de abrazaderas. El rendimiento versátil y confiable del EC de Wisman permite su uso en múltiples herramientas y procesos únicos sin agregar nuevos costos a cada herramienta o proceso único en la instalación.

Características del producto:

Interfaz de control del panel frontal bloqueable;

Cada unidad cuenta con un certificado de calibración rastreable;

Admite tecnologías ESC Coulombic y Johnsen-Rahbek;

Esta sección describe cómo cargar el archivo de configuración de un mandril electrostático al dispositivo y almacenarlo en el dispositivo mediante una interfaz de software fácil de usar;

La detección de oblea incluye estado libre, presencia de oblea o estado de oblea sujeta;

Solicitud:

Manipulación de materiales accionada electrostáticamente

Procesamiento de obleas semiconductoras

Transferencia no mecánica de placas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica