TCE

Potencia (W): 6

Voltaje máximo de salida (KV): 2

Características y beneficios:

Detección confiable del estado de sujeción/liberación mediante un sensor de oblea

Diseño de arquitectura de amplificador de respuesta rápida (diseño sin inversión de polaridad de relé) para alta confiabilidad y larga vida útil.

“Control independiente de canal dual (opcional)” y “ajuste de voltaje de toma central (opcional)” para varias operaciones de mandril/liberación

Equipado con interfaz digital LAN, USB, RS-232C

Filtro RF de paso bajo incorporado (13,56 MHz)

La serie ECA son amplificadores de alto voltaje para mandriles electrostáticos (E-Chuck, ESC). Además de la conmutación de polaridad y la conexión a tierra forzada, esta serie también ofrece un sistema de monitoreo de obleas para las necesidades de inspección de obleas. Además, con un amplio rango de voltaje, la serie admite mandriles electrostáticos Coulomb y Johnsen-Rahbek.

Aplicación tipica:

Manipulación de materiales accionada electrostáticamente

Procesamiento de obleas semiconductoras

Transferencia no mecánica de láminas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica

Características y beneficios:

Detección confiable del estado de sujeción/liberación mediante un sensor de oblea

Diseño de arquitectura de amplificador de respuesta rápida (diseño sin inversión de polaridad de relé) para alta confiabilidad y larga vida útil.

“Control independiente de canal dual (opcional)” y “ajuste de voltaje de toma central (opcional)” para varias operaciones de mandril/liberación

Equipado con interfaz digital LAN, USB, RS-232C

Filtro RF de paso bajo incorporado (13,56 MHz)