ECD

Mejora la eficiencia y el rendimiento: tres veces más que las fuentes de alimentación comunes;

Reducir los errores de gas en la parte posterior, aumentar el rendimiento y eliminar los problemas de adherencia o rotura de obleas;

Control de parámetros como sobrecorriente, presencia de umbrales de sujeción de obleas y wafers, tensión de sujeción, tensión de offset y control de amplitud/offset interno o externo;

Versatilidad en amplitud/desplazamiento y control de salida durante la sintonización;

Control de salidas mediante E/S del panel trasero, comandos de computadora en serie o controles del panel frontal;

Configuración de secuencias y formas de onda de pinzamiento y despinzado personalizadas.

Interfaz de control del panel frontal bloqueable.

Soporte para tecnologías ESC de Coulombic y Johnsen-Rahbek.

Cargue y almacene perfiles de mandril electrostático en el dispositivo y guárdelos internamente a través de una interfaz de software fácil de usar.

Detección de obleas, incluyendo ausencia de obleas, obleas presentes o estado de sujeción de obleas.

La serie ECD de fuentes de alimentación electrostáticas controladas por software de Wisman ofrece una gama de características para satisfacer una amplia variedad de aplicaciones exigentes. El instrumento incorpora la tecnología de amplificador Wisman, que ha demostrado aumentar la eficiencia y el rendimiento hasta tres veces más que otras fuentes de alimentación. Reduce los errores de gas en la parte posterior, aumenta el rendimiento y elimina los problemas de adherencia o estallido de las obleas; controla parámetros como sobrecorriente, presencia de obleas y umbrales de sujeción de obleas, voltaje de sujeción, voltaje de compensación y control interno o externo de amplitud/compensación; versatilidad en el control de amplitud/compensación y salida durante el ajuste; controla la salida mediante E/S del panel trasero, comandos de computadora en serie o controles del panel frontal; configura secuencias y formas de onda de sujeción y desbloqueo personalizadas. El rendimiento versátil y confiable del ECD de Wisman permite su uso en una amplia gama de herramientas y procesos únicos sin agregar nuevos costos para cada herramienta o proceso único en la instalación.

Características:

Interfaz de control del panel frontal bloqueable.

Cada unidad se suministra con un certificado de calibración trazable.

Admite tecnologías ESC Coulombic y Johnsen-Rahbek.

Los perfiles de mandril electrostático se cargan y almacenan en el dispositivo y se guardan internamente a través de una interfaz de software fácil de usar.

Detección de obleas, incluidas la ausencia de obleas, obleas presentes o estado de sujeción de obleas.

Áreas de aplicación:

Manipulación de materiales mediante accionamiento electrostático.

Procesamiento de obleas semiconductoras.

Transferencia no mecánica de láminas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica.