Fuente de alimentación de alto voltaje HEM

INTRODUCCIÓN

La serie HEM de fuentes de alimentación de alto voltaje Wisman es una fuente de alimentación de alto voltaje de múltiples salidas integral dedicada a enfocar haces de iones. Las aplicaciones típicas incluyen microscopía electrónica de transmisión y barrido; análisis de semiconductores, fresado y reparación de cabezales de unidades ópticas, iones; grabado por haz y litografía por haz de iones enfocado. El método de diseño modular permite configurar y ensamblar fácilmente componentes individuales en un chasis grande en un bastidor común. Los circuitos de interfaz, lógica y control son tecnología de montaje en superficie para minimizar el costo y el tamaño. Integre la fuente de alimentación de aceleración, la fuente de alimentación del filamento, absorba la potencia polar, inhiba la potencia polar y la potencia de la lente. Ondulación de salida ultrabaja, excelente tasa de ajuste, estabilidad, variación de temperatura y precisión. Suspensión de alto voltaje patentada y tecnología de control digital. La serie HEM de módulos de alta precisión tiene un precio competitivo y es ideal para aplicaciones OEM.

APLICACIÓN TIPICA
Microscopio electrónico de barrido de transmisión
Microscópio electrónico escaneando
Análisis de semiconductores

Procesamiento y reparación
Grabado con haz de iones
Litografía por haz de iones enfocado
Ondulación 2 ppm

ESPECIFICACIÓN

Entrada: DC24V, 47 a 63Hz

potencia del acelerador
Voltaje de salida: 0 a -35KV
Corriente de salida: 450μA
Ondulación: 70 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHZ
Regulación de línea: cambio de entrada +/-10% para 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: después de 2 horas de calentamiento, 1,5 V/10 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C

Fuente de alimentación de filamento
Tensión de salida: 0 a 5 VCC
Corriente de salida: 0 a 5 A
Ondulación: 10mA PP, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulación de línea: +/-10% cambio a 5mA
Regulación de carga: ± 0,%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: 5 mA/10 minutos después de calentar durante 2 horas
Coeficiente de temperatura: 200 PPM / °C

poder supresor
Voltaje de salida: -10v a-2kv
Corriente de salida: 300uA
Ondulación: 20 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHZ
Regulación de línea: entrada +/-10% cambio a 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: Después de precalentar durante 2 horas, 500 mV/10 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C

potencia extractora

Voltaje de salida: 0 a -15KV
Corriente de salida: 400μA
Ondulación: 30 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHZ, por debajo de 30 μA
Regulación de línea: entrada +/-10% el cambio es 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: Después de precalentar durante 2 horas, 500 mV/10 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C