Fuente de alimentación de alto voltaje HSEM

INTRODUCCIÓN

La serie HSEM de fuentes de alimentación de alto voltaje de Wisman son fuentes de alimentación de alto voltaje de salida múltiple integrales dedicadas a enfocar haces de iones. Las aplicaciones típicas incluyen microscopios electrónicos de transmisión y barrido; análisis de semiconductores, fresado y reparación de cabezales de unidades ópticas, iones; grabado de haz y litografía de haz de iones enfocado. El método de diseño modular permite que los componentes individuales se configuren y ensamblen fácilmente en un chasis grande en un bastidor común. Los circuitos de interfaz, lógica y control son tecnología de montaje superficial para minimizar el costo y el tamaño. Integran fuente de alimentación de aceleración, fuente de alimentación de filamento, absorben energía polar, inhiben energía polar y energía de lente. Ondulación de salida ultrabaja, excelente tasa de ajuste, estabilidad, deriva de temperatura y precisión. Tecnología patentada de suspensión de alto voltaje y control digital. La serie HSEM de módulos de alta precisión tiene un precio competitivo y es ideal para aplicaciones OEM.

APLICACIÓN TIPICA

 

Microscopía electrónica de barrido de transmisión
Microscopía electrónica de barrido
Análisis de semiconductores

Fresado y reparación
Grabado con haz de iones
Litografía por haz de iones enfocado

Ondulación 2 ppm

ESPECIFICACIÓN

Entrada: DC24V, 47 a 63Hz

Fuente de alimentación del acelerador

Voltaje de salida: -200V a -60KV
Corriente de salida: 300 μA
Ondulación: 120 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHz
Regulación de línea: cambio de entrada +/-10% para 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: 1,5 V/10 horas después de calentar durante 2 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C

Fuente de alimentación de filamento

Tensión de salida: 0 a 5 VCC
Corriente de salida: 0 a 5 A
Ondulación: 10mA PP, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulación de línea: +/-10% cambio a 5mA
Regulación de carga: ± 0,%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: 5 mA/10 minutos después de calentar durante 2 horas
Coeficiente de temperatura: 200 PPM / °C

Fuente de alimentación del supresor
Voltaje de salida: -10v a-2kv
Corriente de salida: 300uA
Ondulación: 20 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHZ
Regulación de línea: entrada +/-10% cambio a 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: Después de precalentar durante 2 horas, 500 mV/10 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C

Fuente de alimentación del extractor

Voltaje de salida: 0 a -15KV
Corriente de salida: 400μA
Ondulación: 30 mV PP, de 0,1 Hz a 1 MHZ, por debajo de 400 μA
Regulación de línea: entrada +/-10% el cambio es de 100mV
Regulación de carga: ± 0,0%1, voltaje máximo, cambio de carga completa
Estabilidad: Después de precalentar durante 2 horas, 500 mV/10 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C