Alimentation haute tension EBL

INTRODUCTION

L'alimentation haute tension EBL de Wisman est conçue pour les applications de faisceaux d'électrons de précision, telles que la nanolithographie des semi-conducteurs, la micro-optique et le travail de développement de masques. Elle présente une ondulation ultra-faible et d'excellentes spécifications de stabilité, ce qui est très approprié pour les applications qui ont des exigences très strictes. Fournit un courant de sortie faible sélectionnable et une plage de courant de sortie élevée.

La partie haute tension de l'encapsulation solide élimine tout problème de maintenance de l'utilisateur tout en isolant les composants des variables environnementales. L'appareil est entièrement protégé contre les surcharges, les arcs et les courts-circuits. Fournit des fonctions de programmation et de surveillance de la télécommande. Permet une mesure passive précise de la sortie haute tension. USB 2.0 en option, port réseau, communication numérique RS-232, RS485, personnalisable selon les besoins de l'utilisateur.

APPLICATION TYPIQUE

Micro-optique
Lithographie de semi-conducteurs
Machine d'exposition de semi-conducteurs
Masque

SPÉCIFICATION

Tension d'entrée :
220 Vca, ±10%, monophasé 50/60 Hz
La tension de sortie :
0 à 100 kV, polarité négative. Le commutateur externe peut choisir 105 kV, ± 500 V
Courant de sortie : 0-10 μA, plage basse, 0-100 μA, plage haute
Interrupteur optionnel
Régulation de tension : ± 0,00%1 de la tension nominale dans la plage de tension d'entrée spécifiée

Régulation de charge :
≤20V, le courant passe de 25μA à 60μA et de 60μA à 25μA
ondulation : valeur crête à crête ≤ 70 mV
Microdécharge haute tension : Moins de 200 mV
Stabilité : Après 6 heures de préchauffage, 0,00%1 toutes les 8 heures, la température est de 20℃±0,2℃
Coefficient de température : 25 ppm par degré Celsius dans la plage de 10 °C à 40 °C
Environnemental :
Température de fonctionnement : 0 à 40 degrés Celsius
Température de stockage : -40 à 85 degrés Celsius
Humidité : 10 à 90% RH, sans condensation
Refroidissement : Refroidissement par convection
Panneau avant :
Interrupteur marche/arrêt
Interrupteur marche/arrêt haute tension
Indicateur marche/arrêt haute tension
Voltmètre de sortie analogique
Dimensions : 10,25 x 19 x 27 po (26,7 cm x 48,3 cm x 55,9 cm)
poids : 116 lb (50 kg)