Alimentation haute tension BEI

INTRODUCTION

La série EIB de Wisman est une alimentation haute tension multi-sorties complète dédiée à la focalisation des faisceaux d'ions. Les applications typiques incluent les microscopes électroniques à transmission et à balayage ; analyse de semi-conducteurs, fraisage et réparation de têtes de lecteurs optiques, d'ions ; gravure par faisceau et lithographie par faisceau d'ions focalisé. La méthode de conception modulaire permet de configurer et d'assembler facilement des composants individuels sur un grand châssis dans un rack commun. Les circuits d'interface, de logique et de contrôle sont une technologie de montage en surface pour minimiser le coût et la taille. Intégrez l'alimentation d'accélération, l'alimentation à filament, absorbez la puissance polaire, inhibez la puissance polaire et la puissance de l'objectif. Ondulation de sortie ultra faible, excellent taux de réglage, stabilité, dérive de température et précision. Technologie brevetée de suspension haute tension et de contrôle numérique. La série EIB de modules de haute précision est proposée à un prix compétitif et est idéale pour les applications OEM.

APPLICATION TYPIQUE

Microscopie électronique à balayage en transmission
La microscopie électronique à balayage
Analyse des semi-conducteurs

Fraisage et réparation
Gravure par faisceau d'ions
Lithographie focalisée par faisceau d'ions

Ondulation 2 ppm

SPÉCIFICATION

Entrée : DC24V, 47 à 63 Hz

Alimentation de l'accélérateur :

Tension de sortie : 0 à 45KV
Courant de sortie : 30 μA
Ondulation : 200 mV PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : changement d'entrée +/-10% pour 100mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : 1,5 V/10 heures après 2 heures d'échauffement
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation à filaments
Tension de sortie : 0 à 5 VCC
Courant de sortie : 0 à 5 A
Ondulation : 10mA PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : +/-10% passage à 5mA
Régulation de charge : ± 0,%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : 5 mA/10 minutes après 2 heures d'échauffement
Coefficient de température : 200 PPM/°C

Alimentation du suppresseur

Tension de sortie : -2kv-2kv
Courant de sortie : 30uA
Ondulation : 60 mV PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : entrée +/-10% changement à 100mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation de l'extracteur
Tension de sortie : 0 à -15KV
Courant de sortie : 400 μA
Ondulation : 100 mV PP, de 0,1 Hz à 1 MHZ, en dessous de 30μA
Régulation de ligne : entrée +/-10%, le changement est de 100 mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Objectif A alimentation
Tension de sortie : 0 à -40KV
Courant de sortie : 30 μA
Ondulation : 150 mV PP de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : entrée +/-10%, le changement est de 100 mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : après 2 heures de préchauffage, 1V/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation de l'objectif B
Tension de sortie : 0 à 25KV
Courant de sortie : 30 μA
Ondulation : 150 mV PP de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : entrée +/-10%, le changement est de 100 mV
Régulation de charge : ± 0,005%, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : après 2 heures de préchauffage, 1V/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C