Alimentation haute tension HEM

INTRODUCTION

La série HEM d'alimentations haute tension Wisman est une alimentation haute tension multi-sorties complète dédiée à la focalisation des faisceaux ioniques. Les applications typiques comprennent la microscopie électronique à transmission et à balayage, l'analyse des semi-conducteurs, le fraisage et la réparation des têtes de lecteur optique, les ions, la gravure par faisceau et la lithographie par faisceau ionique focalisé. La méthode de conception modulaire permet de configurer et d'assembler facilement des composants individuels sur un grand châssis dans un rack commun. Les circuits d'interface, logiques et de contrôle sont une technologie de montage en surface pour minimiser les coûts et la taille. Intégrez l'alimentation d'accélération, l'alimentation de filament, absorbez la puissance polaire, inhibez la puissance polaire et la puissance de lentille. Ondulation de sortie ultra-faible, excellent taux de réglage, stabilité, dérive de température et précision. Technologie brevetée de suspension haute tension et de contrôle numérique. La série HEM de modules de haute précision est proposée à un prix compétitif et est idéale pour les applications OEM.

APPLICATION TYPIQUE
Microscope électronique à balayage à transmission
Microscope électronique à balayage
Analyse des semi-conducteurs

Traitement et réparation
Gravure par faisceau ionique
Lithographie par faisceau d'ions focalisés
Ondulation 2 ppm

SPÉCIFICATION

Entrée : DC24V, 47 à 63 Hz

Puissance d'accélération
Tension de sortie : 0 à -35KV
Courant de sortie : 450 μA
Ondulation : 70 mV PP, de 0,1 Hz à 1 MHz
Régulation de ligne : changement d'entrée +/-10% pour 100mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : après 2 heures de préchauffage, 1,5 V/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation à filaments
Tension de sortie : 0 à 5 VCC
Courant de sortie : 0 à 5 A
Ondulation : 10mA PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : +/-10% passage à 5mA
Régulation de charge : ± 0,%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : 5 mA/10 minutes après 2 heures d'échauffement
Coefficient de température : 200 PPM/°C

Puissance du suppresseur
Tension de sortie : -10 v à-2 kv
Courant de sortie : 300uA
Ondulation : 20 mV PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : entrée +/-10% passage à 100 mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Puissance d'extraction

Tension de sortie : 0 à -15KV
Courant de sortie : 400 μA
Ondulation : 30 mV PP, de 0,1 Hz à 1 MHz, inférieure à 30 μA
Régulation de ligne : entrée +/-10%, le changement est de 100 mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C