CE

1. Améliore l'efficacité et le débit des plaquettes trois fois supérieur à celui des alimentations ordinaires ;

2. Réduisez les erreurs de gaz arrière, améliorez le débit et éliminez les problèmes de bâton/éclatement de plaquette ;

3. Paramètres de contrôle tels que la surintensité, la présence de seuils de serrage et de serrage de tranche, la tension de serrage, la tension de décalage et les commandes d'amplitude/décalage internes ou externes ;

4. La polyvalence du contrôle d'amplitude/décalage et de sortie pendant le réglage ;

5. Contrôlez la sortie à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes d'ordinateur série ou des commandes du panneau avant ;

6. Configuration de la séquence et de la forme d'onde personnalisées de retrait et de serrage des pinces ;

7. Interface de commande verrouillable du panneau avant ;

8. Prend en charge les technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek

9. Cette section décrit comment télécharger le fichier de configuration d'un mandrin électrostatique sur l'appareil et le stocker dans l'appareil à l'aide d'une interface logicielle conviviale.

10. La détection de plaquette inclut l'absence de plaquette, la présence de plaquette ou l'état de plaquette serrée.

La série EC d'alimentations à ventouses électrostatiques pilotées par logiciel de Wisman offre une gamme de fonctionnalités pour répondre à un large éventail d'applications exigeantes. L'instrument utilise la technologie d'amplificateur Wisman, dont il a été démontré qu'elle augmente l'efficacité et le débit jusqu'à trois fois par rapport à d'autres sources d'alimentation. Réduisez les erreurs de gaz à l’arrière, améliorez le débit et éliminez les problèmes de collage/éclatement de tranche ; Paramètres de contrôle tels que la surintensité, la présence de seuils de tranche et de serrage de tranche, la tension de serrage, la tension de décalage et les commandes d'amplitude/décalage internes ou externes ; La polyvalence du contrôle d'amplitude/offset et de sortie pendant le réglage ; Contrôlez la sortie à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes série de l'ordinateur ou des commandes du panneau avant ; Configure les séquences et les formes d'onde personnalisées de retrait et de serrage des pinces. Les performances polyvalentes et fiables de l'EC Wisman permettent une utilisation dans plusieurs outils et processus uniques sans ajouter de nouveaux coûts à chaque outil ou processus unique dans l'installation.

Caractéristiques du produit:

Interface de commande verrouillable du panneau avant ;

Chaque unité est fournie avec un certificat d'étalonnage traçable ;

Prend en charge les technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek ;

Cette section décrit comment télécharger le fichier de configuration d'un mandrin électrostatique sur l'appareil et le stocker dans l'appareil à l'aide d'une interface logicielle conviviale ;

La détection de tranche inclut l'absence de tranche, la présence de tranche ou l'état de tranche serrée ;

Application:

Manutention électrostatique

Traitement des plaquettes semi-conductrices

Transfert non mécanique de plaques planes ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique