CEA

Puissance (W) : 6

Tension de sortie maximale (KV) : 2

Caractéristiques et avantages :

Détection fiable de l'état de serrage/relâchement par capteur de plaquette

Réponse rapide de la conception de l'architecture de l'amplificateur (conception « sans inversion de polarité de relais » pour une fiabilité élevée et une longue durée de vie.)

« Contrôle indépendant à double canal (option) » et « réglage de la tension de prise centrale (option) » pour diverses opérations de serrage/relâchement

Equipé d'une interface numérique LAN, USB, RS-232C

Filtre RF passe-bas intégré (13,56 MHz)

La série ECA comprend des amplificateurs haute tension pour mandrins électrostatiques (E-Chuck, ESC). En plus de la commutation de polarité et de la mise à la terre forcée, cette série offre également un système de surveillance des plaquettes pour les besoins d'inspection des plaquettes. De plus, avec une large plage de tension, la série prend en charge les mandrins électrostatiques Coulomb et Johnsen-Rahbek.

Application typique :

Manutention de matériaux à entraînement électrostatique

Traitement des plaquettes de semi-conducteurs

Transfert non mécanique de feuilles planes ou d'autres matériaux transformés sensibles à la manutention mécanique

Caractéristiques et avantages :

Détection fiable de l'état de serrage/relâchement par capteur de plaquette

Réponse rapide de la conception de l'architecture de l'amplificateur (conception « sans inversion de polarité de relais » pour une fiabilité élevée et une longue durée de vie.)

« Contrôle indépendant à double canal (option) » et « réglage de la tension de prise centrale (option) » pour diverses opérations de serrage/relâchement

Equipé d'une interface numérique LAN, USB, RS-232C

Filtre RF passe-bas intégré (13,56 MHz)