DPE

Améliore l'efficacité et le débit : trois fois supérieur à celui des alimentations ordinaires ;

Réduction des erreurs de gaz côté arrière, augmentation du débit et élimination des problèmes de collage/éclatement des plaquettes ;

Contrôle de paramètres tels que la surintensité, la présence de wafer et les seuils de serrage de wafer, la tension de serrage, la tension de décalage et le contrôle d'amplitude/décalage interne ou externe ;

Polyvalence en termes d'amplitude/décalage et de contrôle de sortie pendant le réglage ;

Contrôle des sorties à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes informatiques série ou des commandes du panneau avant ;

Configuration de séquences et de formes d'ondes de serrage et de desserrage personnalisées.

Interface de commande du panneau avant verrouillable.

Prise en charge des technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek.

Téléchargez et stockez les profils de mandrin électrostatique sur l'appareil et stockez-les en interne via une interface logicielle conviviale.

Détection de wafer, y compris l'absence de wafer, la présence de wafer ou l'état de serrage de wafer.

Les alimentations électrostatiques à mandrin pilotées par logiciel de la série ECD de Wisman offrent une gamme de fonctionnalités pour répondre à une grande variété d'applications exigeantes. L'instrument intègre la technologie d'amplification Wisman, qui a démontré qu'elle augmentait l'efficacité et le débit jusqu'à trois fois par rapport aux autres alimentations. Réduisez les erreurs de gaz à l'arrière, augmentez le débit et éliminez les problèmes de collage/d'éclatement des plaquettes ; contrôlez les paramètres tels que la surintensité, la présence de plaquettes et les seuils de serrage des plaquettes, la tension de serrage, la tension de décalage et le contrôle interne ou externe de l'amplitude/du décalage ; polyvalence dans le contrôle de l'amplitude/du décalage et de la sortie pendant le réglage ; contrôlez la sortie à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes informatiques série ou des commandes du panneau avant ; configurez des séquences et des formes d'onde de serrage et de desserrage personnalisées. Les performances polyvalentes et fiables de l'ECD de Wisman permettent une utilisation dans une large gamme d'outils et de processus uniques sans ajouter de nouveaux coûts pour chaque outil ou processus unique dans l'installation.

Caractéristiques:

Interface de commande du panneau avant verrouillable.

Chaque unité est fournie avec un certificat d'étalonnage traçable.

Prend en charge les technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek.

Les profils de mandrin électrostatique sont téléchargés et stockés sur l'appareil et stockés en interne via une interface logicielle conviviale.

Détection de plaquettes, y compris l'absence de plaquettes, la présence de plaquettes ou l'état de serrage des plaquettes.

Domaines d'application :

Manutention de matériaux à entraînement électrostatique.

Traitement des plaquettes de semi-conducteurs.

Transfert non mécanique de feuilles planes ou d'autres matériaux transformés sensibles à la manutention mécanique.