Alimentation haute tension EM

INTRODUCTION

La série EM Wisman est conçue pour alimenter le faisceau électronique des microscopes électroniques à balayage. Il fournit une puissance d'accélération, une puissance de polarisation et une puissance de filament dans un boîtier compact. En même temps, il intègre l'alimentation du scintillateur, l'alimentation PMT et l'alimentation du collecteur couramment utilisées pour les microscopes électroniques. Il constitue l'alimentation du système de microscope électronique. La propre technologie de conception et d'emballage haute tension de Wisman a fait de la série EM d'alimentations haute tension pour microscope électronique une amélioration notable en termes de taille, de coût et de performances. La série EM offre une excellente possibilité de réglage, une grande fiabilité, une faible ondulation et une grande stabilité. La tension d'alimentation accélératrice peut être comprise entre 0 et -30 kV et le courant est de 300 µA. La série EM fournit une polarisation de suspension accélératrice de référence et une alimentation à filament. L'alimentation adopte un contrôle de communication entièrement numérique pour minimiser l'influence du bruit externe sur le système et fournit un affichage du courant du pôle accélérateur référencé à la terre. La série EM Wisman est dotée de fonctions de protection contre les arcs, les courts-circuits, les surtensions et les surintensités.

Applications typiques:

MEB (microscope électronique à balayage)

Faisceau d'électrons

Imprimante 3D en métal

Pistolet à vide

Gravure par faisceau d'ions

Lithographie par faisceau d'ions Focus

Expérience scientifique

Applications industrielles

CARACTÉRISTIQUES

Tension d'entrée : +24 Vcc, ±5%,

Alimentation de l'accélérateur

Sorties haute tension :

Tension de sortie:

La sortie EM20N4 varie de 20 V ~ à 20 kV ; La sortie EM30N6 varie de 30 V ~ à 30 kV

0V à -20kV pleine charge par rapport à la terre

Courant de sortie : 200 μA maximum

Régulation de charge : < ± 100 ppm (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : < ± 100 ppm (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation : <10ppm

Coefficient de température : 25ppm/°C

Stabilité : 10 ppm/3 minutes après 1 heure d'échauffement

Alimentation polarisée

Tension de sortie : varie de 0 à -2 000 V CC.

Courant de sortie : 0 ~ 150 uA.

Régulation de charge ：≤0,2% (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : ≤0,%1 (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation : ≤ 10 ppm.

Coefficient de température : 25 ppm/℃.

Stabilité : 0,00%1 /3 min après 1 heure d'échauffement.

Alimentation à filaments

Courant de sortie : le courant de sortie varie de 0 à 3 A, charge 1 Ω.

Régulation de charge : ±0,%1 (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : ± 0,%1 (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation ：≤0,%1..

Coefficient de température : 25 ppm/℃.

Stabilité : 100 ppm/10 min après 1 heure d'échauffement.

Alimentation du scintillateur (en option)

Tension de sortie : varie de 0 à 10 kVdc,

Courant de sortie : 0 ~ 250 uA.

Régulation de charge : < 0,00%1 (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : ≤0,00%1 (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation : ≤0,00%1.

Coefficient de température : 25 ppm/℃.

Stabilité : ≤0 007% /hr.≤0,0%1 /8hr, après 1 heure d'échauffement

Alimentation du collecteur (en option)

Tension de sortie : varie de 0 ~ 400 Vdc,

Courant de sortie : 0 ~ 500 uA.

Régulation de charge : ±0,00%1 (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : ±0,00%1 (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation : ≤0,00%1，

Coefficient de température : 25 ppm/℃.

Stabilité : ≤0,007% /hr.≤0,01 % /8hr, après 1 heure d'échauffement

Alimentation des plaques à microcanaux (en option)

Tension de sortie : varie de 0 à 1 500 V CC.

Courant de sortie : 0 ~ 1000 µA.

Régulation de charge : 0,00%1 (de zéro charge à pleine charge).

Régulation de ligne : ±0,00%1 (la tension d'entrée change de 10%).

Ondulation : ≤0,00%1.

Coefficient de température : 25 ppm/℃.

Stabilité : ≤0,007% /hr.≤0,0%1 /8hr, après 1 heure d'échauffement