Alimentation haute tension HSEM

INTRODUCTION

La série HSEM d'alimentations haute tension de Wisman est une alimentation haute tension multi-sorties complète dédiée à la focalisation des faisceaux d'ions. Les applications typiques incluent les microscopes électroniques à transmission et à balayage ; analyse de semi-conducteurs, fraisage et réparation de têtes de lecteurs optiques, d'ions ; gravure par faisceau et lithographie par faisceau d'ions focalisé. La méthode de conception modulaire permet de configurer et d'assembler facilement des composants individuels sur un grand châssis dans un rack commun. Les circuits d'interface, de logique et de contrôle sont une technologie de montage en surface pour minimiser le coût et la taille. Intégrez l'alimentation d'accélération, l'alimentation à filament, absorbez la puissance polaire, inhibez la puissance polaire et la puissance de l'objectif. Ondulation de sortie ultra faible, excellent taux de réglage, stabilité, dérive de température et précision. Technologie brevetée de suspension haute tension et de contrôle numérique. La série HSEM de modules de haute précision est proposée à un prix compétitif et est idéale pour les applications OEM.

APPLICATION TYPIQUE

 

Microscopie électronique à balayage en transmission
La microscopie électronique à balayage
Analyse des semi-conducteurs

Fraisage et réparation
Gravure par faisceau d'ions
Lithographie focalisée par faisceau d'ions

Ondulation 2 ppm

SPÉCIFICATION

Entrée : DC24V, 47 à 63 Hz

Alimentation de l'accélérateur

Tension de sortie : -200 V à -60 KV
Courant de sortie : 300 μA
Ondulation : 120 mV PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : changement d'entrée +/-10% pour 100mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : 1,5 V/10 heures après 2 heures d'échauffement
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation à filaments

Tension de sortie : 0 à 5 VCC
Courant de sortie : 0 à 5 A
Ondulation : 10mA PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : +/-10% passage à 5mA
Régulation de charge : ± 0,%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : 5 mA/10 minutes après 2 heures d'échauffement
Coefficient de température : 200 PPM/°C

Alimentation du suppresseur
Tension de sortie : -10 v à-2 kv
Courant de sortie : 300uA
Ondulation : 20 mV PP, de 0,1 Hz à 1MHZ
Régulation de ligne : entrée +/-10% changement à 100mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C

Alimentation de l'extracteur

Tension de sortie : 0 à -15KV
Courant de sortie : 400 μA
Ondulation : 30 mV PP, de 0,1 Hz à 1 MHZ, en dessous de 400μA
Régulation de ligne : entrée +/-10%, le changement est de 100 mV
Régulation de charge : ± 0,0%1, tension maximale, changement à pleine charge
Stabilité : Après 2 heures de préchauffage, 500 mV/10 heures
Coefficient de température : 25 PPM/°C