Alimentatore ad alta tensione EBL

INTRODUZIONE

L'alimentatore ad alta tensione EBL di Wisman è progettato per applicazioni di fascio di elettroni di precisione, come nanolitografia di semiconduttori, micro ottica e lavoro di maschera di sviluppo. Ha un'ondulazione ultra bassa e specifiche di stabilità eccellenti, che sono molto adatte per applicazioni che hanno esigenze molto severe. Fornisce una corrente di uscita bassa selezionabile e un intervallo di corrente di uscita alta.

La parte ad alta tensione dell'incapsulamento solido elimina qualsiasi problema di manutenzione da parte dell'utente, isolando i componenti dalle variabili ambientali. Il dispositivo è completamente protetto da sovraccarico, arco e cortocircuito. Fornisce funzioni di programmazione e monitoraggio del controllo remoto. Consente una misurazione passiva accurata dell'uscita ad alta tensione. USB2.0 opzionale, porta di rete, RS-232, comunicazione digitale RS485, possono essere personalizzati in base alle esigenze dell'utente.

APPLICAZIONE TIPICA

Micro ottica
Litografia semiconduttrice
Macchina per esposizione a semiconduttori
Maschera

SPECIFICHE

Tensione di ingresso:
220Vac, ±10%, monofase 50/60 Hz
Tensione di uscita:
Da 0 a 100 kV, polarità negativa. L'interruttore esterno può scegliere 105 kV, ±500 V
Corrente di uscita: 0-10μA, gamma bassa, 0-100μA, gamma alta
Interruttore opzionale
Regolazione della tensione: ±0,00%1 della tensione nominale entro l'intervallo di tensione di ingresso specificato

Regolazione del carico:
≤20V, la corrente cambia da 25μA a 60μA e da 60μA a 25μA
ondulazione: valore picco-picco ≤70mV
Microscarica ad alta tensione: inferiore a 200 mV
stabilità: dopo 6 ore di preriscaldamento, 0,00%1 ogni 8 ore, la temperatura è di 20℃±0,2℃
Coefficiente di temperatura: 25 ppm per grado Celsius nell'intervallo da 10°C a 40°C
Ambientale:
Temperatura di esercizio: da 0 a 40 gradi Celsius
Temperatura di conservazione: da -40 a 85 gradi Celsius
Umidità: da 10 a 90% RH, senza condensa
Raffreddamento: Raffreddamento a convezione
Pannello frontale:
Interruttore di accensione/spegnimento
Interruttore ON / OFF HV
Indicatore HV ON/OFF
Voltmetro con uscita analogica
Dimensioni: 10,25 HX 19 WX 27 D (26,7 cm X 48,3 cm X 55,9 cm)
peso: 116 libbre (50 kg)