CE

1、Migliora l'efficienza e la produttività dei wafer tre volte superiori rispetto agli alimentatori ordinari;

2、Ridurre gli errori del gas sul retro, migliorare la produttività ed eliminare i problemi di stick/burst dei wafer;

3. Parametri di controllo quali sovracorrente, presenza di wafer e soglie di serraggio wafer, tensione di serraggio, tensione di offset e controlli di ampiezza/offset interni o esterni;

4、La versatilità dell'ampiezza/offset e del controllo dell'uscita durante la regolazione;

5. Controllo dell'uscita tramite I/O del pannello posteriore, comandi del computer seriale o controlli del pannello frontale;

6、Configurazione del morsetto personalizzato e della sequenza di rimozione del morsetto e della forma d'onda;

7、Interfaccia di controllo del pannello frontale bloccabile;

8、Supporta le tecnologie ESC Coulombic e Johnsen-Rahbek

9. Questa sezione descrive come caricare il file di configurazione di un mandrino elettrostatico sul dispositivo e memorizzarlo nel dispositivo utilizzando un'interfaccia software intuitiva.

10. Il rilevamento del wafer include lo stato wafer libero, wafer presente o wafer bloccato

La serie EC di alimentatori elettrostatici a ventosa gestiti da software di Wisman offre una gamma di funzionalità per soddisfare un'ampia gamma di applicazioni esigenti. Lo strumento utilizza la tecnologia di amplificazione Wisman, che ha dimostrato di aumentare l'efficienza e la produttività fino a tre volte rispetto ad altre fonti di alimentazione. Riduce gli errori di gas sul retro, migliora la produttività ed elimina i problemi di stick/burst del wafer; Controlla parametri quali sovracorrente, presenza di wafer e soglie di clamp del wafer, tensione di clamp, tensione di offset e controlli di ampiezza/offset interni o esterni; Versatilità del controllo di ampiezza/offset e uscita durante la regolazione; Controlla l'uscita tramite I/O del pannello posteriore, comandi del computer seriale o controlli del pannello anteriore; Configura sequenze e forme d'onda personalizzate di clamp e rimozione del clamp. Le prestazioni versatili e affidabili di EC di Wisman consentono l'uso in più strumenti e processi unici senza aggiungere nuovi costi a ogni strumento o processo unico nella struttura.

Caratteristiche del prodotto:

Interfaccia di controllo del pannello frontale bloccabile;

Ogni unità è dotata di un certificato di calibrazione tracciabile;

Supporta le tecnologie ESC Coulombic e Johnsen-Rahbek;

Questa sezione descrive come caricare il file di configurazione di un mandrino elettrostatico sul dispositivo e memorizzarlo nel dispositivo utilizzando un'interfaccia software di facile utilizzo;

Il rilevamento del wafer include lo stato wafer libero, wafer presente o wafer bloccato;

Applicazione:

Movimentazione dei materiali azionata elettrostaticamente

Lavorazione di wafer semiconduttori

Trasferimento non meccanico di piastre piane o altri materiali lavorati sensibili alla manipolazione meccanica