Corte dei conti europea

Potenza (W): 6

Tensione di uscita massima (KV): 2

Caratteristiche e vantaggi:

Rilevamento affidabile dello stato di serraggio/rilascio tramite sensore wafer

Risposta rapida del design dell'architettura dell'amplificatore (design "senza inversione di polarità del relè" per elevata affidabilità e lunga durata).

"Controllo indipendente a doppio canale (opzione)" e "impostazione della tensione della presa centrale (opzione)" per varie operazioni di mandrino/rilascio

Dotato di interfaccia digitale LAN, USB, RS-232C

Filtro RF passa-basso integrato (13,56 MHz)

La serie ECA è composta da amplificatori ad alta tensione per mandrini elettrostatici (E-Chuck, ESC). Oltre alla commutazione di polarità e alla messa a terra forzata, questa serie offre anche un sistema di monitoraggio wafer per le esigenze di ispezione wafer. Inoltre, con un'ampia gamma di tensione, la serie supporta mandrini elettrostatici Coulomb e Johnsen-Rahbek.

Applicazione tipica:

Movimentazione dei materiali azionata elettrostaticamente

Lavorazione di wafer semiconduttori

Trasferimento non meccanico di fogli piani o altri materiali lavorati sensibili alla manipolazione meccanica

Caratteristiche e vantaggi:

Rilevamento affidabile dello stato di serraggio/rilascio tramite sensore wafer

Risposta rapida del design dell'architettura dell'amplificatore (design "senza inversione di polarità del relè" per elevata affidabilità e lunga durata).

"Controllo indipendente a doppio canale (opzione)" e "impostazione della tensione della presa centrale (opzione)" per varie operazioni di mandrino/rilascio

Dotato di interfaccia digitale LAN, USB, RS-232C

Filtro RF passa-basso integrato (13,56 MHz)