ECD

Migliora l'efficienza e la produttività: tre volte quella dei normali alimentatori;

Riduzione degli errori di gas sul lato posteriore, aumento della produttività ed eliminazione dei problemi di incollaggio/scoppio dei wafer;

Controllo di parametri quali sovracorrente, presenza di wafer e soglie di clamping del wafer, tensione di clamping, tensione di offset e controllo di ampiezza/offset interno o esterno;

Versatilità in ampiezza/offset e controllo dell'uscita durante l'accordatura;

Controllo delle uscite utilizzando gli I/O del pannello posteriore, i comandi seriali del computer o i controlli del pannello frontale;

Configurazione di sequenze e forme d'onda di bloccaggio e sbloccaggio personalizzate.

Interfaccia di controllo del pannello frontale bloccabile.

Supporto per le tecnologie ESC Coulombic e Johnsen-Rahbek.

Carica e memorizza i profili del mandrino elettrostatico sul dispositivo e memorizzali internamente tramite un'interfaccia software intuitiva.

Rilevamento del wafer incluso lo stato di assenza di wafer, wafer presente o bloccaggio del wafer.

La serie ECD di alimentatori per mandrini elettrostatici gestiti da software Wisman offre una gamma di funzionalità per soddisfare un'ampia varietà di applicazioni esigenti. Lo strumento incorpora la tecnologia dell'amplificatore Wisman, che ha dimostrato di aumentare l'efficienza e la produttività fino a tre volte rispetto ad altri alimentatori. Ridurre gli errori di gas sul retro, aumentare la produttività ed eliminare i problemi di incollaggio/scoppiettio dei wafer; parametri di controllo quali sovracorrente, presenza wafer e soglie di bloccaggio del wafer, tensione di bloccaggio, tensione di offset e controllo di ampiezza/offset interno o esterno; versatilità in ampiezza/offset e controllo dell'uscita durante la regolazione; controllare l'uscita utilizzando l'I/O del pannello posteriore, i comandi seriali del computer o i controlli del pannello anteriore; configurare sequenze e forme d'onda di bloccaggio e debloccaggio personalizzate. Le prestazioni versatili e affidabili dell'ECD di Wisman ne consentono l'utilizzo in un'ampia gamma di strumenti e processi unici senza aggiungere nuovi costi per ogni strumento o processo unico nella struttura.

Caratteristiche:

Interfaccia di controllo del pannello frontale bloccabile.

Ogni unità viene fornita con un certificato di calibrazione tracciabile.

Supporta le tecnologie ESC Coulombic e Johnsen-Rahbek.

I profili del mandrino elettrostatico vengono caricati e archiviati nel dispositivo e archiviati internamente tramite un'interfaccia software intuitiva.

Rilevamento wafer incluso assenza di wafer, presenza di wafer o stato di bloccaggio del wafer.

Aree di applicazione:

Movimentazione dei materiali azionata elettrostaticamente.

Lavorazione di wafer semiconduttori.

Trasferimento non meccanico di lamiere piane o altri materiali lavorati sensibili alla movimentazione meccanica.