Alimentatore EM ad alta tensione

INTRODUZIONE

La serie EM di Wisman è progettata per alimentare il fascio di elettroni dei microscopi elettronici a scansione. Fornisce potenza di accelerazione, potenza di polarizzazione e potenza del filamento in un pacchetto compatto. Allo stesso tempo, integra l'alimentatore per scintillatore, l'alimentatore PMT e l'alimentatore del collettore comunemente utilizzati per i microscopi elettronici. Costituisce l'alimentatore del sistema del microscopio elettronico. La progettazione ad alta tensione e la tecnologia di confezionamento di Wisman hanno reso la serie EM di alimentatori ad alta tensione per microscopio elettronico un notevole miglioramento in termini di dimensioni, costi e prestazioni. La serie EM offre un'eccellente adattabilità, elevata affidabilità, bassa ondulazione e alta stabilità. La tensione di alimentazione dell'accelerazione può essere fornita da 0 a -30 kV e la corrente è di 300 uA. La serie EM fornisce alimentazione di polarizzazione della sospensione dell'accelerante di riferimento e alimentazione del filamento. L'alimentatore adotta un controllo di comunicazione completamente digitale per ridurre al minimo l'influenza del rumore esterno sul sistema e fornisce la visualizzazione della corrente del polo di accelerazione riferita a terra. La serie EM Wisman è dotata di funzioni di protezione da archi elettrici, cortocircuiti, sovratensioni e sovracorrenti.

Applicazioni tipiche:

SEM (microscopio elettronico a scansione)

Fascio di elettroni

Stampante 3D in metallo

Pistola a vuoto

Incisione con fascio ionico

Litografia a fascio ionico focalizzato

Esperimento scientifico

Applicazioni industriali

SPECIFICHE

Tensione di ingresso: +24 VDC, ±5%,

Alimentazione dell'acceleratore

Uscite ad alta tensione:

Tensione di uscita:

L'uscita EM20N4 varia da 20 V~ a 20 kV; l'uscita EM30N6 varia da 30 V~ a 30 kV

Da 0 V a -20 kV a pieno carico rispetto a terra

Corrente di uscita: 200μA massimo

Regolazione del carico: <±100 ppm (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: <±100ppm (la tensione di ingresso cambia 10%).

Increspatura: <10ppm

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/°C

Stabilità: 10 ppm/3 minuti dopo 1 ora di riscaldamento

Alimentazione BIAS

Tensione di uscita: varia da 0~ -2000 VDC

Corrente di uscita: 0~ 150uA.

Regolazione del carico: ≤0,2% (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: ≤0,%1 (la tensione di ingresso cambia 10%).

Ondulazione: ≤10 ppm.

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/℃.

Stabilità: 0,00%1 /3min dopo 1 ora di riscaldamento.

Alimentazione a filamento

Corrente di uscita: la corrente di uscita varia da 0 a 3 A, carico 1 Ω.

Regolazione del carico: ±0,%1 (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: ± 0,%1 (la tensione di ingresso cambia 10%).

Increspatura: ≤0,%1..

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/℃.

Stabilità: 100 ppm/10 min dopo 1 ora di riscaldamento.

Alimentatore scintillatore (opzionale)

Tensione di uscita: varia da 0 a 10 kVcc,

Corrente di uscita: 0~250uA.

Regolazione del carico: <0,00%1 (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: ≤0,00 (la tensione di ingresso cambia 10%).

Increspatura: ≤0,00.

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/℃.

Stabilità: ≤0 007% /ora. ≤0,0%1 /8 ore, dopo 1 ora di riscaldamento

Alimentazione del collettore (opzionale)

Tensione di uscita: varia da 0 a 400 VDC,

Corrente di uscita: 0~500uA.

Regolazione del carico: ±0,00%1 (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: ±0,00 (la tensione di ingresso cambia 10%).

Increspatura: ≤0,00，

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/℃.

Stabilità: ≤0,007% /ora. ≤0,01 % /8 ore, dopo 1 ora di riscaldamento

Alimentazione delle piastre microcanale (opzionale)

Tensione di uscita: varia da 0 a 1500 VDC.

Corrente di uscita: 0~1000uA.

Regolazione del carico: 0,00%1 (da nessun carico a pieno carico).

Regolazione della linea: ±0,00 (la tensione di ingresso cambia di 10%).

Increspatura: ≤0,00.

Coefficiente di temperatura: 25 ppm/℃.

Stabilità: ≤0,007% /ora. ≤0,0%1 /8 ore, dopo 1 ora di riscaldamento