Alimentatore ad alta tensione HSEM

INTRODUZIONE

La serie di alimentatori ad alta tensione HSEM di Wisman è composta da alimentatori ad alta tensione multi-uscita completi dedicati alla focalizzazione di fasci ionici. Le applicazioni tipiche includono microscopi elettronici a trasmissione e scansione; analisi di semiconduttori, fresatura e riparazione di testine di unità ottiche, ioni; incisione a fascio e litografia a fascio ionico focalizzato. Il metodo di progettazione modulare consente di configurare e assemblare facilmente i singoli componenti su un grande telaio in un rack comune. I circuiti di interfaccia, logica e controllo sono tecnologia a montaggio superficiale per ridurre al minimo costi e dimensioni. Integrazione di alimentazione di accelerazione, alimentazione a filamento, assorbimento di potenza polare, inibizione di potenza polare e potenza della lente. Ondulazione di uscita ultra bassa, eccellente velocità di regolazione, stabilità, deriva di temperatura e precisione. Tecnologia di sospensione ad alta tensione brevettata e controllo digitale. La serie di moduli ad alta precisione HSEM ha prezzi competitivi ed è ideale per applicazioni OEM.

APPLICAZIONE TIPICA

 

Microscopia elettronica a scansione a trasmissione
Microscopia elettronica a scansione
Analisi dei semiconduttori

Fresatura e riparazione
Incisione con fascio ionico
Litografia a fascio ionico focalizzato

Increspatura 2 ppm

SPECIFICHE

Ingresso: DC24V, da 47 a 63Hz

Alimentazione dell'acceleratore

Tensione di uscita: da -200 V a -60 KV
Corrente di uscita: 300μA
Ondulazione: 120 mV PP, da 0,1 Hz a 1 MHZ
Regolazione di linea: variazione di ingresso + / -10% per 100mV
Regolazione del carico: ± 0,0%1, tensione massima, variazione a pieno carico
Stabilità: 1,5 V/10 ore dopo il riscaldamento per 2 ore
Coefficiente di temperatura: 25 PPM / °C

Alimentazione a filamento

Tensione di uscita: da 0 a 5 VDC
Corrente di uscita: da 0 a 5 A
Ondulazione: 10mA PP, da 0,1 Hz a 1MHZ
Regolazione della linea: + / -10% cambia a 5mA
Regolazione del carico: ± 0,%1, tensione massima, variazione a pieno carico
Stabilità: 5 mA/10 minuti dopo il riscaldamento per 2 ore
Coefficiente di temperatura: 200 PPM / °C

Alimentazione del soppressore
Tensione di uscita: da -10 V a -2 kV
Corrente di uscita: 300uA
Ondulazione: 20 mV PP, da 0,1 Hz a 1 MHZ
Regolazione di linea: ingresso + / -10% cambia a 100mV
Regolazione del carico: ± 0,0%1, tensione massima, variazione a pieno carico
Stabilità: dopo preriscaldamento per 2 ore, 500 mV/10 ore
Coefficiente di temperatura: 25 PPM / °C

Alimentazione dell'estrattore

Tensione di uscita: da 0 a -15KV
Corrente di uscita: 400μA
Ondulazione: 30 mV PP, da 0,1 Hz a 1 MHZ, inferiore a 400μA
Regolazione della linea: la variazione di ingresso + / -10% è di 100 mV
Regolazione del carico: ± 0,0%1, tensione massima, variazione a pieno carico
Stabilità: dopo preriscaldamento per 2 ore, 500 mV/10 ore
Coefficiente di temperatura: 25 PPM / °C