イオンビームイオンビームは、イオンを高速で加速して生成されるビームです。イオンは、正または負に帯電した原子または原子団です。
直流と交流があります。電流には直流（DC）と交流（AC）の2種類があります。直流は
科学技術の急速な発展に伴い、リソグラフィー機械の技術も向上しています。将来、リソグラフィー機械は次の方向に発展するでしょう。
