이온 빔 이온 빔은 이온을 고속으로 가속하여 생성되는 빔입니다. 이온은 양전하 또는 음전하를 띤 원자 또는 그룹입니다.
직류와 교류가 있습니다 전류에는 직류(DC)와 교류(AC)의 두 가지 유형이 있습니다. 직류는
과학기술의 급속한 발전에 따라 리소그래피 기계 기술도 향상되고 있습니다. 앞으로 리소그래피 기계는 다음과 같은 방향으로 발전할 것입니다.
