Ionenstraal
Een ionenbundel is een straal die wordt geproduceerd door ionen met hoge snelheden te versnellen. Ionen zijn positief of negatief geladen
atomen of groepen atomen. Ionenversnelling is de beweging van ionen naar hun bestemming door een willekeurige waarde toe te passen
Spanning. Het momentum van de versneller is evenredig met de aangelegde spanning. Volgens de toepassing van
ionenoverdracht, de elektroden die spanning toepassen zijn versnellingselektrode, extractie-elektrode, onderdrukking
elektrode, afbuigelektrode, afbuigelektrode, enz. Ze worden gebruikt in ionenmotoren, sputteren van ionenstralen, ionen
implantatie, gefocusseerde ionenbundel (FIB) en versnellers. Om te voorkomen dat de potentiaal in het apparaat vrijkomt
omdat het gericht is op het versnelde ionenpotentieel, is het in sommige gevallen mogelijk dat het elektrisch wordt geneutraliseerd
door ionen te versnellen om ionen te produceren.
Om een ionenbundel voor de FIB te genereren, is een vloeibare metaalionenbron (LMIS) bestaande uit naaldachtige wolfraamdraden
verbonden met gallium wordt gebruikt. Wanneer de gloeidraad wordt verwarmd en er spanning wordt aangelegd op de extractie-elektrode,
vanuit de punt wordt een ionenbundel gegenereerd. De resulterende ionen worden vervolgens gecontroleerd door de elektrische en magnetische velden
van de versneller, waardoor een smalle gerichte stroom ontstaat. Ionenbundelregeling wordt gebruikt voor het scannen van ionenbundels. De ionen
geëxtraheerd uit de ionenbron worden gefocusseerd door een condensorlens (CL) en de ionenbundel wordt gescand door een elektrostatisch
deflector. Ionenbundels worden gebruikt in een breed scala aan toepassingen, zoals ionenbundelinjectie, ionenbundelverwerking,
en scanning-ionenmicroscopie (SIM).
Een ionenbundelgenerator bestaat uit een ionenbron (ionenkanon), een elektromagnetische lens in een versneller en een
deflector. Ionenbundels worden door versnellers geleid voor de injectie van onzuivere ionen in halfgeleiders,
oppervlaktereiniging door middel van ionenfrezen, oppervlaktebehandeling, oppervlaktemodificatie en oppervlakte- en interne analyse.
De ionenbundel wordt in een vacuüm versneld en vertraagd door een elektrisch veld en afgebogen door een magnetisch veld.
Ionenmassascheiding wordt uitgevoerd door ionen in een magnetisch veld te buigen, en energieanalyse wordt uitgevoerd door
vertragende elektrische veldmethode en statische elektrische veldafbuigingsanalyse.
Wisman biedt een breed scala aan vermogensapparaten voor ionenversnelling, extractie, onderdrukking, afbuiging, focussering,
vervlechting en neutralisatie. Wisman voedingen voor elektrostatische deflectoren zijn verkrijgbaar in een breed scala aan
specificaties, in het bijzonder bieden wij hoogspanningsversterkers met de hoogste responssnelheid ter wereld.
Met de DC bias-functie kunt u eenvoudig het scanreferentiepunt van de scan aanpassen.
Ionenstraalvoeding:
SEM, ZOOM, EM
