EBL-hoogspanningsvoeding

INVOERING

De EBL-hoogspanningsvoeding van Wisman is ontworpen voor precisie-elektronenbundeltoepassingen, zoals halfgeleider-nanolithografie, micro-optica en ontwikkelingsmaskerwerk. Het heeft een ultralage rimpel en uitstekende stabiliteitsspecificaties, wat zeer geschikt is voor toepassingen met zeer strenge eisen. Bieden selecteerbare lage uitgangsstroom en hoog uitgangsstroombereik.

Het hoogspanningsgedeelte van de solide inkapseling elimineert onderhoudsproblemen voor de gebruiker en isoleert de componenten van omgevingsvariabelen. Het apparaat is volledig beveiligd tegen overbelasting, boog- en kortsluiting. Bied programmeer- en bewakingsfuncties voor afstandsbediening. Maakt nauwkeurige passieve meting van hoogspanningsuitgang mogelijk. Optionele USB2.0, netwerkpoort, RS-232, RS485 digitale communicatie, kunnen worden aangepast aan de gebruikersvereisten.

TYPISCHE APPLICATIE

Micro-optica
Halfgeleiderlithografie
Halfgeleiderbelichtingsmachine
Masker

SPECIFICATIE

Ingangsspanning:
220Vac, ±10%, eenfasig 50/60 Hz
De uitgangsspanning:
0 tot 100 kV, negatieve polariteit. Externe schakelaar kan 105 kV, ± 500 V kiezen
Uitgangsstroom: 0-10μA, laag bereik, 0-100μA, hoog bereik
Schakel optioneel
Spanningsregeling: ±0,00%1 van de nominale spanning binnen het gespecificeerde ingangsspanningsbereik

Belastingsregeling:
≤20V, stroomveranderingen van 25μA tot 60μA en 60μA tot 25μA
rimpel: piek-tot-piekwaarde≤70mV
Micro-ontlading met hoge spanning: minder dan 200 mV
stabiliteit: Na 6 uur voorverwarmen, 0,00%1 elke 8 uur, is de temperatuur 20℃±0,2℃
Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm per graad Celsius in het bereik van 10°C tot 40°C
Milieu:
Bedrijfstemperatuur: 0 tot 40 graden Celsius
Bewaartemperatuur: -40 tot 85 graden Celsius
Luchtvochtigheid: 10 tot 90% RH, geen condensatie
Koeling: Convectiekoeling
Voorpaneel:
Aan/uit-schakelaar
HV AAN/UIT-schakelaar
HV AAN/UIT-indicator
Analoge uitgangsvoltmeter
Afmetingen: 10,25 HX 19 BX 27 D (26,7 cm x 48,3 cm x 55,9 cm)
gewicht: 50 kg