ECA

Vermogen (W): 6

Maximale uitgangsspanning (KV): 2

Kenmerken en voordelen:

Betrouwbare detectie van klem-/ontgrendelingstoestand door wafersensor

Snelle respons van het versterkerarchitectuurontwerp (ontwerp zonder relaispolariteit voor hoge betrouwbaarheid en lange levensduur.)

“Dual channel independent control (optie)” en “center tap voltage setting (optie)” voor verschillende klauw-/ontgrendelingsbewerkingen

Uitgerust met LAN, USB, RS-232C digitale interface

Ingebouwde laagdoorlaat RF-filter (13,56 MHz)

ECA-series zijn hoogspanningsversterkers voor elektrostatische klauwplaten (E-Chuck, ESC). Naast polariteitsschakeling en gedwongen aarding biedt deze serie ook een waferbewakingssysteem voor waferinspectiebehoeften. Bovendien ondersteunt de serie met een breed spanningsbereik Coulomb- en Johnsen-Rahbek-elektrostatische klauwplaten.

Typische applicatie:

Elektrostatisch aangedreven materiaalbehandeling

Halfgeleiderwaferverwerking

Niet-mechanische overdracht van vlakke platen of andere bewerkte materialen die gevoelig zijn voor mechanische behandeling

Kenmerken en voordelen:

Betrouwbare detectie van klem-/ontgrendelingstoestand door wafersensor

Snelle respons van het versterkerarchitectuurontwerp (ontwerp zonder relaispolariteit voor hoge betrouwbaarheid en lange levensduur.)

“Dual channel independent control (optie)” en “center tap voltage setting (optie)” voor verschillende klauw-/ontgrendelingsbewerkingen

Uitgerust met LAN, USB, RS-232C digitale interface

Ingebouwde laagdoorlaat RF-filter (13,56 MHz)