EIB-hoogspanningsvoeding

INVOERING

De EIB-serie van Wisman is een uitgebreide multi-output hoogspanningsvoeding die speciaal is bedoeld voor het focussen van ionenbundels. Typische toepassingen zijn onder meer transmissie- en scanning elektronenmicroscopen; halfgeleideranalyse, frezen en repareren van optische aandrijfkoppen, ionen; bundeletsen en gefocusseerde ionenbundellithografie. De modulaire ontwerpmethode maakt het mogelijk om afzonderlijke componenten eenvoudig te configureren en te monteren op een groot chassis in een gemeenschappelijk rek. Interface-, logica- en regelcircuits zijn oppervlaktemontagetechnologie om kosten en grootte te minimaliseren. Integreer versnellingsvoeding, filamentvoeding, absorbeer polaire kracht, rem polaire kracht en lenskracht. Ultralage outputrimpel, uitstekende aanpassingssnelheid, stabiliteit, temperatuurdrift en nauwkeurigheid. Gepatenteerde hoogspanningsophanging en digitale regeltechnologie. De EIB-serie van zeer nauwkeurige modules is concurrerend geprijsd en is ideaal voor OEM-toepassingen.

TYPISCHE APPLICATIE

Transmissie-scanelektronenmicroscopie
Scannende elektronenmicroscopie
Halfgeleideranalyse

Frezen en repareren
Ionenbundel etsen
Gefocuste ionenbundellithografie

Rimpeling 2ppm

SPECIFICATIE

Ingang: DC24V, 47 tot 63Hz

Voeding van de versneller:

Uitgangsspanning: 0 tot 45KV
Uitgangsstroom: 30μA
Rimpel: 200 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingangsverandering + / -10% voor 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: 1,5 V/10 uur na 2 uur opwarmen
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Filamentvoeding
Uitgangsspanning: 0 tot 5 VDC
Uitgangsstroom: 0 tot 5 A
Rimpel: 10mA PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: + / -10% verandering naar 5mA
Belastingregeling: ± 0,%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: 5mA/10 minuten na 2 uur opwarmen
Temperatuurcoëfficiënt: 200 PPM / °C

Onderdrukker voeding

Uitgangsspanning: -2kv-2kv
Uitgangsstroom: 30uA
Rimpel: 60 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering naar 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Extractor voeding
Uitgangsspanning: 0 tot -15KV
Uitgangsstroom: 400μA
Rimpel: 100 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ, onder 30 μA
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering is 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Lens A-voeding
Uitgangsspanning: 0 tot -40KV
Uitgangsstroom: 30μA
Rimpel: 150 mV PP van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering is 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: na 2 uur voorverwarmen, 1V/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Lens B voeding
Uitgangsspanning: 0 tot 25KV
Uitgangsstroom: 30μA
Rimpel: 150 mV PP van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering is 100mV
Belastingregeling: ± 0,005%, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: na 2 uur voorverwarmen, 1V/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C