EM-hoogspanningsvoeding

INVOERING

De EM-serie van Wisman is ontworpen om de elektronenbundel van scanning elektronenmicroscopen van stroom te voorzien. Het levert versnellingsvermogen, biasvermogen en filamentvermogen in een compact pakket. Tegelijkertijd integreert het de veelgebruikte scintillatorvoeding, PMT-voeding en collectorvoeding voor elektronenmicroscopen. Het vormt de voeding van het elektronenmicroscoopsysteem.Wisman's eigen hoogspanningsontwerp en verpakkingstechnologie hebben de EM-serie van elektronenmicroscoop hoogspanningsvoedingen een merkbare verbetering in grootte, kosten en prestaties gemaakt. De EM-serie biedt uitstekende instelbaarheid, hoge betrouwbaarheid, lage rimpel en hoge stabiliteit. De versnellende voedingsspanning kan worden gegeven van 0 tot -30 kV en de stroom is 300 uA. De EM-serie biedt referentieversneller suspensie bias en filamentvoeding. De voeding maakt gebruik van volledig digitale communicatiebesturing om de invloed van externe ruis op het systeem te minimaliseren en biedt een versnellende poolstroomweergave met betrekking tot de grond. De EM-serie van Wisman beschikt over functies voor boog-, kortsluit-, overspannings- en overstroombeveiliging.

Typische applicaties:

SEM (Scanning Elektronenmicroscoop)

Elektronenbundel

Metaal 3D-printer

Vacuümpistool

Ionenbundel etsen

Focus Ionenbundel Lithografie

Wetenschappelijk experiment

Industriële toepassingen

SPECIFICATIES

Ingangsspanning: +24Vdc, ±5%,

Versneller voeding

Hoogspanningsuitgangen:

Uitgangsspanning:

EM20N4-uitgangsbereiken van 20V~- 20kV; EM30N6-uitgangsbereiken van 30V~- 30kV

0V tot -20kV volledige belasting ten opzichte van de aarde

Uitgangsstroom: maximaal 200 μA

Belastingregeling: <±100ppm (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: <±100ppm (ingangsspanning verandert 10%).

Rimpeling: <10ppm

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/°C

Stabiliteit: 10 ppm/3 minuten na 1 uur opwarmen

BIAS-voeding

Uitgangsspanning: varieert van 0~ -2000Vdc

Uitgangsstroom: 0~ 150uA.

Belastingregeling: ≤0,2%1 (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: ≤0,%1 (ingangsspanning verandert met 10%).

Rimpeling: ≤10ppm.

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/℃.

Stabiliteit: 0,00%1 /3min na 1 uur opwarmen.

Filamentvoeding

Uitgangsstroom: Uitgangsstroom varieert van 0~3A, belasting 1 Ω.

Belastingregeling: ±0,%1 (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: ± 0,%1 (ingangsspanning verandert met 10%).

Rimpeling: ≤0,%1..

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/℃.

Stabiliteit: 100 ppm/ 10 min na 1 uur opwarmen.

Scintillatorvoeding (optioneel)

Uitgangsspanning: varieert van 0~ 10kVdc,

Uitgangsstroom: 0~250uA.

Belastingregeling: <0,00%1 (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: ≤0,00%1 (Ingangsspanning verandert 10%).

Rimpeling: ≤0,00%1.

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/℃.

Stabiliteit: ≤0 007% /uur. ≤0,0%1 /8uur, na 1 uur opwarmen

Collectorvoeding (optioneel)

Uitgangsspanning: varieert van 0~ 400Vdc,

Uitgangsstroom: 0~500uA.

Belastingregeling: ±0,00%1 (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: ±0,00%1 (ingangsspanning verandert met 10%).

Rimpeling: ≤0,00%1，

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/℃.

Stabiliteit: ≤0,007% /uur. ≤0,01 % /8uur, na 1 uur opwarmen

Microkanaalplaten voeding (optioneel)

Uitgangsspanning: varieert van 0~1500Vdc,

Uitgangsstroom: 0~1000uA.

Belastingregeling: 0,00%1 (van geen belasting tot volledige belasting).

Lijnregeling: ±0,00%1 (ingangsspanning verandert met 10%).

Rimpeling: ≤0,00%1.

Temperatuurcoëfficiënt: 25 ppm/℃.

Stabiliteit: ≤0,007%1 /uur. ≤0,0%1 /8uur, na 1 uur opwarmen