HEM-hoogspanningsvoeding

INVOERING

De HEM-serie van Wisman hoogspanningsvoedingen is een uitgebreide multi-output hoogspanningsvoeding die speciaal is bedoeld voor het focussen van ionenbundels. Typische toepassingen zijn onder meer transmissie- en scanning elektronenmicroscopie; halfgeleideranalyse, frezen en repareren van optische aandrijfkoppen, ionen; bundeletsen en gefocusseerde ionenbundellithografie. De modulaire ontwerpmethode maakt het mogelijk om afzonderlijke componenten eenvoudig te configureren en te monteren op een groot chassis in een gemeenschappelijk rek. Interface-, logica- en regelcircuits zijn oppervlaktemontagetechnologie om kosten en grootte te minimaliseren. Integreer versnellingsvoeding, filamentvoeding, absorbeer polaire kracht, rem polaire kracht en lenskracht. Ultralage uitgangsrimpel, uitstekende aanpassingssnelheid, stabiliteit, temperatuurdrift en nauwkeurigheid. Gepatenteerde hoogspanningsophanging en digitale regeltechnologie. De HEM-serie van zeer nauwkeurige modules is concurrerend geprijsd en is ideaal voor OEM-toepassingen.

TYPISCHE APPLICATIE
Transmissie Scanning Elektronenmicroscoop
Scannende elektronenmicroscoop
Halfgeleideranalyse

Verwerking en reparatie
Ionenbundel etsen
Gefocuste ionenbundellithografie
Rimpeling 2ppm

SPECIFICATIE

Ingang: DC24V, 47 tot 63Hz

Versneller vermogen
Uitgangsspanning: 0 tot -35KV
Uitgangsstroom: 450μA
Rimpel: 70 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingangsverandering + / -10% voor 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: na 2 uur opwarmen, 1,5 V/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Filamentvoeding
Uitgangsspanning: 0 tot 5 VDC
Uitgangsstroom: 0 tot 5 A
Rimpel: 10mA PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: + / -10% verandering naar 5mA
Belastingregeling: ± 0,%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: 5mA/10 minuten na 2 uur opwarmen
Temperatuurcoëfficiënt: 200 PPM / °C

Onderdrukkingsvermogen
Uitgangsspanning: -10v tot -2kv
Uitgangsstroom: 300uA
Rimpel: 20 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering naar 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Extractorvermogen

Uitgangsspanning: 0 tot -15KV
Uitgangsstroom: 400μA
Rimpel: 30 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ, onder 30 μA
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering is 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C