HSEM-hoogspanningsvoeding

INVOERING

De HSEM-serie van hoogspanningsvoedingen van Wisman zijn uitgebreide multi-output hoogspanningsvoedingen die speciaal zijn bedoeld voor het focussen van ionenbundels. Typische toepassingen zijn onder meer transmissie- en scanning elektronenmicroscopen; halfgeleideranalyse, frezen en repareren van optische aandrijfkoppen, ionen; bundeletsen en gefocusseerde ionenbundellithografie. De modulaire ontwerpmethode maakt het mogelijk om afzonderlijke componenten eenvoudig te configureren en te monteren op een groot chassis in een gemeenschappelijk rek. Interface-, logica- en regelcircuits zijn oppervlaktemontagetechnologie om kosten en grootte te minimaliseren. Integreer versnellingsvoeding, filamentvoeding, absorbeer polaire kracht, rem polaire kracht en lenskracht. Ultralage uitgangsrimpel, uitstekende aanpassingssnelheid, stabiliteit, temperatuurdrift en nauwkeurigheid. Gepatenteerde hoogspanningsophanging en digitale regeltechnologie. De HSEM-serie van zeer nauwkeurige modules is concurrerend geprijsd en is ideaal voor OEM-toepassingen.

TYPISCHE APPLICATIE

 

Transmissie-scanelektronenmicroscopie
Scannende elektronenmicroscopie
Halfgeleideranalyse

Frezen en repareren
Ionenbundel etsen
Gefocuste ionenbundellithografie

Rimpeling 2ppm

SPECIFICATIE

Ingang: DC24V, 47 tot 63Hz

Voeding van de versneller

Uitgangsspanning: -200V tot -60KV
Uitgangsstroom: 300μA
Rimpel: 120 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingangsverandering + / -10% voor 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: 1,5 V/10 uur na 2 uur opwarmen
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Filamentvoeding

Uitgangsspanning: 0 tot 5 VDC
Uitgangsstroom: 0 tot 5 A
Rimpel: 10mA PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: + / -10% verandering naar 5mA
Belastingregeling: ± 0,%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: 5mA/10 minuten na 2 uur opwarmen
Temperatuurcoëfficiënt: 200 PPM / °C

Onderdrukker voeding
Uitgangsspanning: -10v tot -2kv
Uitgangsstroom: 300uA
Rimpel: 20 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering naar 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C

Extractor voeding

Uitgangsspanning: 0 tot -15KV
Uitgangsstroom: 400μA
Rimpel: 30 mV PP, van 0,1 Hz tot 1 MHZ, onder 400 μA
Lijnregeling: ingang + / -10% verandering is 100mV
Belastingregeling: ± 0,0%1, maximale spanning, volledige belastingsverandering
Stabiliteit: Na 2 uur voorverwarmen, 500mV/10 uur
Temperatuurcoëfficiënt: 25 PPM / °C