EBL高電圧電源

導入

Wisman の EBL 高電圧電源は、半導体ナノリソグラフィー、マイクロオプティクス、開発マスクワークなどの精密電子ビームアプリケーション向けに設計されています。超低リップルと優れた安定性仕様を備えており、非常に厳しい要求があるアプリケーションに最適です。選択可能な低出力電流と高出力電流の範囲を提供します。

固体カプセル化の高電圧部分は、コンポーネントを環境変数から分離しながら、ユーザーのメンテナンスの問題を排除します。デバイスは、過負荷、アーク、短絡から完全に保護されています。リモート コントロールのプログラミングと監視機能を提供します。高電圧出力の正確な受動測定を可能にします。オプションの USB2.0、ネットワーク ポート、RS-232、RS485 デジタル通信は、ユーザーの要件に応じてカスタマイズできます。

典型的なアプリケーション

マイクロオプティクス
半導体リソグラフィー
半導体露光装置
マスク

仕様

入力電圧:
220Vac、±10%、単相 50/60 Hz
出力電圧:
0～100kV、負極性。外部スイッチで105kV、±500Vを選択可能
出力電流: 0-10μA、低範囲、0-100μA、高範囲
スイッチオプション
電圧変動率:指定された入力電圧範囲内で定格電圧の±0.00%1

負荷調整:
≤20V、電流は25μAから60μA、60μAから25μAに変化
リップル: ピークツーピーク値≤70mV
高電圧マイクロ放電: 200mV未満
安定性：6時間の予熱後、8時間ごとに0.00%1、温度は20℃±0.2℃
温度係数:10°C～40°Cの範囲で1℃あたり25ppm
環境：
動作温度: 0～40℃
保管温度: -40～85℃
湿度: 10～90% RH、結露なし
冷却: 対流冷却
フロントパネル:
電源オン/オフスイッチ
HVオン/オフスイッチ
HVオン/オフインジケーター
アナログ出力電圧計
寸法: 高さ10.25 x 幅19 x 奥行き27 (26.7cm x 48.3cm x 55.9cm)
重量: 116ポンド (50 kg)