EC

1、効率とウェハスループットが通常の電源の3倍向上します。

2、裏面ガスエラーを減らし、スループットを向上させ、ウェーハの固着/破裂の問題を排除します。

3、過電流、ウェーハの存在およびウェーハクランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部の振幅/オフセット制御などの制御パラメータ。

4、調整時の振幅/オフセットと出力制御の多様性。

5、リアパネルのI/O、シリアルコンピュータコマンド、またはフロントパネルのコントロールを使用して出力を制御します。

6、カスタムクランプとクランプ除去シーケンスおよび波形の構成。

7、ロック可能なフロントパネルコントロールインターフェース。

8、クーロンおよびジョンセン・ラーベック ESC テクノロジーをサポート

9、このセクションでは、ユーザーフレンドリーなソフトウェア インターフェイスを使用して、静電チャックの構成ファイルをデバイスにアップロードし、デバイスに保存する方法について説明します。

10、ウェーハ検出には、ウェーハなし、ウェーハあり、またはウェーハクランプ状態が含まれます。

Wisman の EC シリーズのソフトウェア駆動型静電吸引電源は、要求の厳しいさまざまなアプリケーションに対応するさまざまな機能を備えています。この機器は、他の電源の最大 3 倍の効率とスループットの向上が実証されている Wisman アンプ技術を使用しています。バックサイド ガス エラーを減らし、スループットを向上させ、ウェーハ スティック/バーストの問題を排除します。過電流、ウェーハの存在、ウェーハ クランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部の振幅/オフセット制御などの制御パラメータ。調整中の振幅/オフセットおよび出力制御の汎用性。リア パネル I/O、シリアル コンピュータ コマンド、またはフロント パネル コントロールを使用した出力の制御。カスタム クランプおよびクランプ除去シーケンスと波形を構成します。Wisman の EC の汎用性と信頼性のあるパフォーマンスにより、施設内の各固有のツールまたはプロセスに新しいコストを追加することなく、複数の固有のツールおよびプロセスで使用できます。

製品の特徴:

ロック可能なフロントパネル制御インターフェース。

各ユニットには追跡可能な校正証明書が付属しています。

クーロンおよびジョンセン・ラーベック ESC テクノロジーをサポート。

このセクションでは、ユーザーフレンドリーなソフトウェア インターフェイスを使用して、静電チャックの構成ファイルをデバイスにアップロードし、デバイスに保存する方法について説明します。

ウェーハ検出には、ウェーハなし、ウェーハあり、またはウェーハクランプ状態が含まれます。

応用：

静電駆動によるマテリアルハンドリング

半導体ウェハ処理

機械的な取り扱いに敏感な平板やその他の加工材料の非機械的な移送