ECCA

電力(W)：6

最大出力電圧（KV）：2

機能と利点:

ウェーハセンサーによる確実なクランプ/リリース状態検出

アンプアーキテクチャ設計の高速応答（「リレー極性反転なし」設計により、高い信頼性と長寿命を実現）

多様なチャック・リリース操作を可能にする「デュアルチャンネル独立制御（オプション）」と「センタータップ電圧設定（オプション）」

LAN、USB、RS-232Cデジタルインターフェース搭載

ローパスRFフィルター内蔵（13.56MHz）

ECA シリーズは、静電チャック (E-Chuck、ESC) 用の高電圧アンプです。極性切り替えと強制接地に加え、このシリーズはウェハ検査のニーズに対応するウェハ監視システムも提供します。さらに、このシリーズは幅広い電圧範囲を備え、クーロンおよびジョンセン・ラーベック静電チャックをサポートします。

代表的な用途:

静電駆動によるマテリアルハンドリング

半導体ウェハ処理

機械的な取り扱いに敏感な平板やその他の加工材料の非機械的な移送

機能と利点:

ウェーハセンサーによる確実なクランプ/リリース状態検出

アンプアーキテクチャ設計の高速応答（「リレー極性反転なし」設計により、高い信頼性と長寿命を実現）

多様なチャック・リリース操作を可能にする「デュアルチャンネル独立制御（オプション）」と「センタータップ電圧設定（オプション）」

LAN、USB、RS-232Cデジタルインターフェース搭載

ローパスRFフィルター内蔵（13.56MHz）