電子情報技術

効率とスループットが向上：通常の電源の 3 倍。

裏面ガスエラーを削減し、スループットを向上させ、ウェーハの固着/破裂の問題を排除します。

過電流、ウェーハの存在、ウェーハクランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部の振幅/オフセット制御などのパラメータの制御。

チューニング中の振幅/オフセットおよび出力制御の多様性。

リアパネルの I/O、シリアルコンピュータコマンド、またはフロントパネルのコントロールを使用した出力の制御。

カスタム クランプおよびクランプ解除シーケンスと波形の構成。

ロック可能なフロントパネル制御インターフェース。

クーロンビックおよびジョンセン・ラーベック ESC テクノロジーのサポート。

静電チャック プロファイルをデバイスにアップロードして保存し、ユーザーフレンドリーなソフトウェア インターフェイスを介して内部に保存します。

ウェーハなし、ウェーハあり、またはウェーハクランプ状態を含むウェーハ検出。

Wisman のソフトウェア駆動型静電チャック電源 ECD シリーズは、さまざまな機能を備え、要求の厳しいさまざまなアプリケーションに対応します。この機器には、他の電源に比べて効率とスループットを最大 3 倍向上させることが実証されている Wisman アンプ技術が組み込まれています。バックサイド ガス エラーを減らし、スループットを向上させ、ウェーハのスティッキング/ポップの問題を排除します。過電流、ウェーハの有無、ウェーハ クランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部の振幅/オフセット制御などの制御パラメータ、調整中の振幅/オフセットおよび出力制御の汎用性、リア パネル I/O、シリアル コンピュータ コマンド、またはフロント パネル コントロールを使用した出力の制御、カスタム クランプおよびクランプ解除シーケンスと波形の構成が可能です。Wisman の ECD の汎用性と信頼性のあるパフォーマンスにより、施設内の独自のツールやプロセスごとに新たなコストを追加することなく、さまざまな独自のツールやプロセスで使用できます。

特徴：

ロック可能なフロントパネル制御インターフェース。

各ユニットには追跡可能な校正証明書が付属しています。

クーロンビックおよびジョンセン・ラーベック ESC テクノロジーをサポートします。

静電チャック プロファイルはデバイスにアップロードされ、保存され、ユーザーフレンドリーなソフトウェア インターフェイスを介して内部に保存されます。

ウェーハなし、ウェーハあり、またはウェーハクランプ状態を含むウェーハ検出。

応用分野:

静電駆動によるマテリアルハンドリング。

半導体ウエハー加工。

機械的な取り扱いに敏感な平らなシートやその他の加工材料の非機械的な移送。