EM高電圧電源

導入

WismanのEMシリーズは、走査型電子顕微鏡の電子ビームに電力を供給するために設計されています。コンパクトなパッケージで加速電力、バイアス電力、フィラメント電力を提供します。同時に、電子顕微鏡で一般的に使用されているシンチレータ電源、PMT電源、コレクタ電源を統合しています。電子顕微鏡システムの電源を構成します。Wisman独自の高電圧設計とパッケージング技術により、EMシリーズの電子顕微鏡高電圧電源は、サイズ、コスト、パフォーマンスが著しく向上しました。EMシリーズは、優れた調整性、高い信頼性、低リップル、高い安定性を提供します。加速電源電圧は0〜-30kV、電流は300uAです。EMシリーズは、基準加速サスペンションバイアスとフィラメント電源を提供します。電源は、システムへの外部ノイズの影響を最小限に抑えるために完全デジタル通信制御を採用し、グランドを基準とした加速極電流表示を提供します。 WismanのEMシリーズはアーク、短絡保護、過電圧保護、過電流保護機能を備えています。

代表的なアプリケーション：

SEM（走査型電子顕微鏡）

電子ビーム

金属3Dプリンター

真空ガン

イオンビームエッチング

フォーカスイオンビームリソグラフィー

科学実験

産業用途

仕様

入力電圧: +24Vdc、±5%、

加速電源

高電圧出力:

出力電圧:

EM20N4の出力範囲は20V～20kV、EM30N6の出力範囲は30V～30kVです。

0V～-20kV（全負荷、対地）

出力電流: 最大200μA

負荷レギュレーション: <±100ppm(無負荷から全負荷まで)。

ラインレギュレーション: <±100ppm(入力電圧変化 10%)。

リップル: <10ppm

温度係数: 25ppm/°C

安定性: 1時間のウォームアップ後、10ppm/3分

バイアス電源

出力電圧：0～-2000Vdcの範囲

出力電流：0〜150uA。

負荷レギュレーション：≤0.2%(無負荷から全負荷まで)。

ラインレギュレーション：≤0.%1(入力電圧変化101111111111)。

リップル：≤10ppm。

温度係数：25ppm/℃。

安定性：1時間のウォームアップ後、0.00%1 /3分。

フィラメント電源

出力電流：出力電流範囲は0〜3A、負荷1Ω。

負荷変動率：±0.%1(無負荷から全負荷まで)。

ラインレギュレーション：±0.%1(入力電圧変化10%)。

リップル：≤0.%1..

温度係数：25ppm/℃。

安定性：1時間のウォームアップ後、100ppm/10分。

シンチレータ電源（オプション）

出力電圧：0〜10kVdcの範囲、

出力電流：0~250uA。

負荷レギュレーション：<0.00%1（無負荷から全負荷まで）。

ラインレギュレーション：≤0.00%1(入力電圧変化10%)。

リップル:≤0.00%1。

温度係数：25ppm/℃。

安定性:≤0 007% /時間。≤0.0%1 /8時間、1時間のウォームアップ後

コレクタ電源（オプション）

出力電圧:0〜400Vdcの範囲、

出力電流：0〜500uA。

負荷レギュレーション:±0.00%1 (無負荷から全負荷まで)。

ラインレギュレーション:±0.00%1(入力電圧変化10%)。

リップル:≤0.00%1，

温度係数：25ppm/℃。

安定性:≤0.0071111111111 /時間。≤0.01 % /8時間、1時間のウォームアップ後

マイクロチャネルプレート電源（オプション）

出力電圧：0〜1500Vdcの範囲、

出力電流：0~1000uA。

負荷レギュレーション：0.00%1（無負荷から全負荷まで）。

ラインレギュレーション：±0.00%1(入力電圧変化10%)。

リップル：≤0.00%1。

温度係数：25ppm/℃。

安定性：≤0.007% /時間。≤0.0%1 /8時間、1時間のウォームアップ後