EBL 고전압 전원 공급 장치

소개

Wisman의 EBL 고전압 전원 공급 장치는 반도체 나노리소그래피, 마이크로 광학 및 현상 마스크 작업과 같은 정밀 전자빔 응용 분야용으로 설계되었습니다. 매우 낮은 리플과 우수한 안정성 사양을 갖추고 있어 매우 엄격한 요구 사항이 있는 애플리케이션에 매우 적합합니다. 선택 가능한 저출력 전류 및 고출력 전류 범위를 제공합니다.

견고한 캡슐화의 고전압 부분은 구성 요소를 환경 변수로부터 격리하는 동시에 사용자 유지 관리 문제를 제거합니다. 이 장치는 과부하, 아크 및 단락 보호 기능을 완벽하게 갖추고 있습니다. 원격 제어 프로그래밍 및 모니터링 기능을 제공합니다. 고전압 출력의 정확한 수동 측정이 가능합니다. 옵션 USB2.0, 네트워크 포트, RS-232, RS485 디지털 통신은 사용자 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

일반적인 응용

마이크로 광학
반도체 리소그래피
반도체 노광기
마스크

사양

입력 전압:
220Vac, ±10%, 단상 50/60Hz
출력 전압:
0 ~ 100kV, 음극성. 외부 스위치는 105kV, ±500V를 선택할 수 있습니다.
출력 전류: 0-10μA, 낮은 범위, 0-100μA, 높은 범위
선택 스위치
전압 조정: 지정된 입력 전압 범위 내에서 정격 전압의 ±0.00%1

부하 조절:
20V 이하, 전류는 25μA에서 60μA로, 60μA에서 25μA로 변경됩니다.
잔물결: 피크 대 피크 value≤70mV
고전압 미세 방전: 200mV 미만
안정성: 6시간 예열 후, 8시간마다 0.00%1, 온도는 20℃±0.2℃
온도 계수: 10°C ~ 40°C 범위에서 섭씨 온도당 25ppm
환경:
작동 온도: 섭씨 0~40도
보관 온도: -40~85℃
습도: 10 ~ 90% RH, 결로 없음
냉각: 대류 냉각
전면 패널:
전원 켜기/끄기 스위치
HV ON/OFF 스위치
HV ON/OFF 표시기
아날로그 출력 전압계
크기: 10.25HX 19WX 27D(26.7cm X 48.3cm X 55.9cm)
무게: 50kg(116파운드)