EC

1. 일반 전원 공급 장치보다 3배 더 높은 효율성과 웨이퍼 처리량을 제공합니다.

2、후면 가스 오류 감소, 처리량 향상 및 웨이퍼 스틱/버스트 문제 제거

3. 과전류, 웨이퍼 존재 및 웨이퍼 클램프 임계값, 클램프 전압, 오프셋 전압, 내부 또는 외부 진폭/오프셋 제어와 같은 제어 매개변수

4、조정 시 진폭/오프셋 및 출력 제어의 다양성

5. 후면 패널 I/O, 직렬 컴퓨터 명령 또는 전면 패널 컨트롤을 사용하여 출력을 제어합니다.

6. 사용자 정의 클램프 및 클램프 제거 시퀀스 및 파형의 구성;

7、잠금 가능한 전면 패널 제어 인터페이스

8、Coulombic 및 Johnsen-Rahbek ESC 기술 지원

9. 이 섹션에서는 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 정전척의 구성 파일을 장치에 업로드하고 장치에 저장하는 방법을 설명합니다.

10、웨이퍼 감지에는 웨이퍼 없음, 웨이퍼 존재 또는 웨이퍼 클램핑 상태가 포함됩니다.

Wisman의 EC 시리즈 소프트웨어 구동 정전 흡입 전원 공급 장치는 다양한 까다로운 애플리케이션을 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 계측기는 Wisman 증폭기 기술을 사용하여 다른 전원보다 최대 3배까지 효율성과 처리량을 증가시키는 것으로 나타났습니다. 후면 가스 오류를 줄이고 처리량을 개선하며 웨이퍼 스틱/버스트 문제를 제거합니다. 과전류, 웨이퍼 및 웨이퍼 클램프 임계값의 존재, 클램프 전압, 오프셋 전압 및 내부 또는 외부 진폭/오프셋 제어와 같은 제어 매개변수. 조정 중 진폭/오프셋 및 출력 제어의 다양성. 후면 패널 I/O, 직렬 컴퓨터 명령 또는 전면 패널 제어를 사용하여 출력을 제어합니다. 사용자 정의 클램프 및 클램프 제거 시퀀스와 파형을 구성합니다. Wisman의 EC의 다재다능하고 신뢰할 수 있는 성능을 통해 시설의 각 고유한 도구 또는 프로세스에 새로운 비용을 추가하지 않고도 여러 고유한 도구 및 프로세스에서 사용할 수 있습니다.

제품 특징:

잠금 가능한 전면 패널 제어 인터페이스;

각 장치에는 추적 가능한 교정 인증서가 제공됩니다.

Coulombic 및 Johnsen-Rahbek ESC 기술을 지원합니다.

이 섹션에서는 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 정전 척의 구성 파일을 장치에 업로드하고 장치에 저장하는 방법을 설명합니다.

웨이퍼 감지에는 웨이퍼 없음, 웨이퍼 존재, 웨이퍼 클램핑된 상태가 포함됩니다.

애플리케이션:

정전기 구동 재료 취급

반도체 웨이퍼 가공

기계적 취급에 민감한 평판 또는 기타 가공 재료의 비기계적 이송