ECA

전력(W)：6

최대 출력 전압(KV)：2

특징 및 이점:

웨이퍼 센서에 의한 안정적인 클램프/릴리스 상태 감지

앰프 구조 설계의 빠른 대응("릴레이 극성 반전 없음" 설계로 높은 신뢰성과 장수명 실현)

다양한 척/릴리스 작업을 위한 “듀얼 채널 독립 제어(옵션)” 및 “센터 탭 전압 설정(옵션)”

LAN, USB, RS-232C 디지털 인터페이스 탑재

저역통과 RF 필터 내장(13.56MHz)

ECA 시리즈는 정전척(E-Chuck, ESC)용 고전압 증폭기입니다. 이 시리즈는 극성 스위칭 및 강제 접지 외에도 웨이퍼 검사 요구 사항을 위한 웨이퍼 모니터링 시스템을 제공합니다. 또한, 광범위한 전압 범위를 갖춘 이 시리즈는 Coulomb 및 Johnsen-Rahbek 정전척을 지원합니다.

일반적인 응용 프로그램:

정전기로 구동되는 재료 취급

반도체 웨이퍼 가공

기계적 취급에 민감한 평판 또는 기타 가공 재료의 비기계적 이송

특징 및 이점:

웨이퍼 센서에 의한 안정적인 클램프/릴리스 상태 감지

앰프 구조 설계의 빠른 대응("릴레이 극성 반전 없음" 설계로 높은 신뢰성과 장수명 실현)

다양한 척/릴리스 작업을 위한 “듀얼 채널 독립 제어(옵션)” 및 “센터 탭 전압 설정(옵션)”

LAN, USB, RS-232C 디지털 인터페이스 탑재

저역통과 RF 필터 내장(13.56MHz)