ECD

효율성과 처리량이 향상되었습니다: 일반 전원 공급 장치의 3배

뒷면 가스 오류를 줄이고, 처리량을 늘리고, 웨이퍼 스티킹/버스트 문제를 제거합니다.

과전류, 웨이퍼 및 웨이퍼 클램핑 임계값의 존재, 클램핑 전압, 오프셋 전압 및 내부 또는 외부 진폭/오프셋 제어와 같은 매개변수의 제어

튜닝 중 진폭/오프셋 및 출력 제어의 다양성

후면 패널 I/O, 직렬 컴퓨터 명령 또는 전면 패널 컨트롤을 사용하여 출력을 제어합니다.

사용자 정의 클램프 및 디클램프 시퀀스와 파형 구성.

잠금 가능한 전면 패널 제어 인터페이스.

Coulombic 및 Johnsen-Rahbek ESC 기술을 지원합니다.

정전 척 프로파일을 장치에 업로드하고 저장한 후 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 내부에 저장합니다.

웨이퍼 없음, 웨이퍼 존재 여부, 웨이퍼 클램핑 상태 등을 포함한 웨이퍼 감지.

Wisman의 ECD 시리즈 소프트웨어 구동 정전 척 전원 공급 장치는 다양한 까다로운 애플리케이션을 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 기기는 Wisman 증폭기 기술을 통합하여 다른 전원 공급 장치보다 최대 3배까지 효율성과 처리량을 증가시키는 것으로 나타났습니다. 후면 가스 오류를 줄이고 처리량을 늘리고 웨이퍼 스티킹/팝핑 문제를 제거합니다. 과전류, 웨이퍼 존재 및 웨이퍼 클램프 임계값, 클램프 전압, 오프셋 전압, 내부 또는 외부 진폭/오프셋 제어와 같은 제어 매개변수; 조정 중 진폭/오프셋 및 출력 제어의 다양성; 후면 패널 I/O, 직렬 컴퓨터 명령 또는 전면 패널 제어를 사용하여 출력을 제어합니다. 사용자 정의 클램핑 및 디클램핑 시퀀스와 파형을 구성합니다. Wisman의 ECD의 다재다능하고 신뢰할 수 있는 성능 덕분에 시설의 각 고유한 도구 또는 프로세스에 대한 새로운 비용을 추가하지 않고도 다양한 고유한 도구 및 프로세스에서 사용할 수 있습니다.

특징:

잠금 가능한 전면 패널 제어 인터페이스.

각 장치에는 추적 가능한 교정 인증서가 함께 제공됩니다.

Coulombic 및 Johnsen-Rahbek ESC 기술을 지원합니다.

정전 척 프로파일은 장치에 업로드되어 저장되고, 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 내부에 저장됩니다.

웨이퍼 없음, 웨이퍼 있음 또는 웨이퍼 클램핑 상태 등을 포함한 웨이퍼 감지.

적용 분야:

정전기로 구동되는 재료 취급.

반도체 웨이퍼 가공.

기계적 취급에 민감한 평판이나 기타 가공된 재료를 비기계적으로 이송하는 작업입니다.