EM 고전압 전원 공급 장치

소개

Wisman의 EM 시리즈는 주사 전자 현미경의 전자빔에 전원을 공급하도록 설계되었습니다. 소형 패키지에 가속 전원, 바이어스 전원 및 필라멘트 전원을 제공합니다. 동시에 전자 현미경에 일반적으로 사용되는 신틸레이터 전원 공급 장치, PMT 전원 공급 장치 및 콜렉터 전원 공급 장치를 통합합니다. 전자 현미경 시스템의 전원 공급 장치를 구성합니다. Wisman의 고유한 고전압 설계 및 패키징 기술로 EM 시리즈 전자 현미경 고전압 전원 공급 장치는 크기, 비용 및 성능 면에서 눈에 띄는 개선을 이루었습니다. EM 시리즈는 뛰어난 조정성, 높은 신뢰성, 낮은 리플 및 높은 안정성을 제공합니다. 가속 전원 공급 장치 전압은 0~-30kV로 제공될 수 있으며 전류는 300uA입니다. EM 시리즈는 기준 가속 서스펜션 바이어스 및 필라멘트 전원 공급 장치를 제공합니다. 전원 공급 장치는 완전 디지털 통신 제어를 채택하여 시스템에 대한 외부 노이즈의 영향을 최소화하고 접지를 기준으로 가속 극 전류 표시를 제공합니다. Wisman의 EM 시리즈는 아크, 단락 보호, 과전압 보호, 과전류 보호 기능을 갖추고 있습니다.

일반적인 응용 분야:

SEM（주사전자현미경）

전자빔

금속 3D 프린터

진공총

이온빔 에칭

초점 이온 빔 리소그래피

과학 실험

산업용 애플리케이션

명세서

입력 전압: +24Vdc, ±5%,

가속기 전원 공급 장치

고전압 출력:

출력 전압:

EM20N4 출력 범위는 20V~- 20kV이고 EM30N6 출력 범위는 30V~- 30kV입니다.

접지에 대한 0V ~ -20kV 전체 부하

출력 전류: 최대 200μA

부하 조절: <±100ppm(무부하에서 최대 부하까지).

라인 조절: <±100ppm(입력 전압이 10%1로 변경됨).

리플 : <10ppm

온도 계수: 25ppm/°C

안정성 : 1시간 예열 후 10ppm/3분

BIAS 전원 공급 장치

출력전압 : 0~ -2000Vdc 범위

출력 전류 ：0~ 150uA.

부하 조절 ：≤0.2%(무부하에서 전부하까지).

라인 조절 ： ≤0.%1(입력 전압이 10%로 변할 때).

리플 ：≤10ppm.

온도계수 ：25ppm/℃.

안정성 ：1시간 예열 후 0.00%1/3분.

필라멘트 전원 공급 장치

출력 전류：출력 전류 범위는 0~3A，부하 1Ω입니다.

부하 조절 ：±0.%1(무부하에서 전부하까지).

라인 조절 ： ± 0.%1(입력 전압이 10%로 변경됨).

리플 ：≤0.%1..

온도계수 ：25ppm/℃.

안정성 ：1시간 예열 후 100ppm/ 10분.

신틸레이터 전원 공급 장치(옵션)

출력 전압: 0~ 10kVdc 범위

출력 전류 ：0~250uA.

부하 조절：<0.00%1 (무부하에서 전부하까지).

라인 조절：≤0.00%1(입력 전압이 10%로 변경됨).

리플:≤0.00%1.

온도 계수: 25ppm/℃.

안정성:≤0 007%1 /hr.≤0.0%1 /8hr, 1시간 예열 후

수집기 전원 공급 장치(옵션)

출력 전압: 0~ 400Vdc 범위

출력 전류 : 0~500uA.

부하 조절: ±0.00%1 (무부하에서 최대 부하까지).

라인 조절:±0.00%1(입력 전압이 10% 변경됨).

리플:≤0.00%1，

온도 계수: 25ppm/℃.

안정성:≤0.007%1 /hr.≤0.01 % /8hr, 1시간 예열 후

마이크로채널 플레이트 전원 공급 장치(선택 사항)

출력 전압: 0~1500Vdc 범위

출력 전류：0~1000uA.

부하 조절: 0.00%1 (무부하에서 전부하까지).

라인 조절：±0.00%1(입력 전압이 10%로 변경됨).

리플：≤0.00%1.

온도 계수：25ppm/℃.

안정성: ≤0.007%1 /hr.≤0.0%1 /8hr, 1시간 예열 후