HSEM 고전압 전원 공급 장치

소개

Wisman의 HSEM 시리즈 고전압 전원 공급 장치는 이온 빔을 집중시키는 데 전념하는 포괄적인 다중 출력 고전압 전원 공급 장치입니다. 일반적인 응용 분야로는 투과 및 주사 전자 현미경, 반도체 분석, 밀링 및 광 드라이브 헤드, 이온 수리, 빔 에칭 및 집속 이온 빔 리소그래피가 있습니다. 모듈식 설계 방식을 사용하면 개별 구성 요소를 공통 랙의 대형 섀시에 쉽게 구성하고 조립할 수 있습니다. 인터페이스, 로직 및 제어 회로는 표면 실장 기술로 비용과 크기를 최소화합니다. 가속 전원 공급 장치, 필라멘트 전원 공급 장치, 극성 전력 흡수, 극성 전력 억제 및 렌즈 전력을 통합합니다. 초저 출력 리플, 뛰어난 조정 속도, 안정성, 온도 드리프트 및 정확도. 특허받은 고전압 서스펜션 및 디지털 제어 기술. HSEM 시리즈 고정밀 모듈은 경쟁력 있는 가격으로 OEM 응용 분야에 이상적입니다.

일반적인 응용

 

투과주사전자현미경
주사 전자 현미경
반도체 분석

밀링 및 수리
이온빔 에칭
집속 이온빔 리소그래피

리플 2ppm

사양

입력 : DC24V, 47 ~ 63Hz

가속기 전원 공급 장치

출력 전압: -200V ~ -60KV
출력 전류 : 300μA
리플: 120 mV PP, 0.1 Hz ~ 1MHZ
라인 조절: 입력 변경 + / -10% 100mV에 대해
부하 조절 : ± 0.0%1, 최대 전압, 전부하 변화
안정성 : 2시간 예열 후 1.5V/10시간
온도 계수: 25 PPM / °C

필라멘트 전원 공급 장치

출력 전압: 0~5VDC
출력 전류 : 0 ~ 5 A
리플: 10mA PP, 0.1Hz ~ 1MHZ
라인 조절 : + / -10%1 5mA로 변경
부하 조절: ± 0.%1, 최대 전압, 전부하 변화
안정성 : 2시간 예열 후 5mA/10분
온도 계수: 200 PPM / °C

억제기 전원 공급 장치
출력 전압: -10v ~ -2kv
출력 전류 : 300uA
리플: 20 mV PP, 0.1 Hz ~ 1MHZ
라인 조절 : 입력 + / -10%1 100mV로 변경
부하 조절: ± 0.0%1, 최대 전압, 전부하 변화
안정성 : 2시간 예열 후 500mV/10시간
온도 계수: 25 PPM / °C

추출기 전원 공급 장치

출력 전압: 0 ~ -15KV
출력 전류 : 400μA
리플: 30 mV PP, 0.1 Hz ~ 1 MHZ, 400μA 이하
라인 조절 : 입력 + / -10%1 변화는 100mV입니다
부하 조절: ± 0.0%1, 최대 전압, 전부하 변화
안정성 : 2시간 예열 후 500mV/10시간
온도 계수: 25 PPM / °C