SEM 고전압 전원 공급 장치

소개:

Wisman의 SEM 시리즈는 주사 전자 현미경(SEM) 컬럼을 구동하도록 특별히 설계된 통합 다중 출력 고전압 전원 공급 장치입니다. 이 애플리케이션에 대한 Wisman의 광범위한 지식을 통해 우리는 SEM의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 맞춤 설정할 수 있는 다양한 기술 플랫폼을 개발할 수 있었습니다.

주요 가속 전압은 안정성이 높은 30kV 공급 장치이며, 19? 고문. 모든 출력은 초저 출력 리플, 탁월한 조절, 안정성, 온도 계수, 드리프트 및 정확도 사양으로 제공됩니다. 각 플로팅 소스의 절연 및 제어는 Wisman의 고유한 고전압 절연 기술을 통해 제공됩니다.

이 통합 SEM 시리즈 전원 공급 장치 시스템에 대한 고객 제어는 광섬유 인터페이스를 통해 수행됩니다. 모든 고전압 안전 인터록은 오류 방지 하드웨어 기반 설계로 되어 있으며 SEM은 CE 마크를 획득했으며 해당 IEC, UL 및 SEMI 표준을 준수하도록 설계되었습니다. Wisman의 SEM은 전례 없는 이미지 품질과 해상도를 위해 낮은 리플, 미세 방전, ppm 수준의 안정성으로 탁월한 성능을 제공합니다.

일반적인 응용 분야:

주사전자현미경(SEM)
전자빔 컨트롤러

명세서

입력 전압: +24Vdc, ±5% @ 최대 4A.

돌입 전류는 1초 동안 <6A입니다.

안전 퓨즈: 5 x 20mm 세라믹 퓨즈는 외부에서 교체 가능하며 퓨즈 값이 표시되어 있습니다.

누설 전류: 케이스까지 < 200μA

전압 : 접지 기준 최대 부하: 0V~-30kV

전원 스위치: 차폐형 로커 스위치를 사용하면 전면 패널에서 장치를 켜고 끌 수 있습니다.

환경:

작동 온도: 정상 작동 시 주변 온도는 +10°C ~ +45°C입니다.

장치는 0°C에서 작동하지만 예열 시간이 길어야 합니다.

보관 온도: -20°C ~ +60°C

습도: 0 ~ 80% RH, 비응축

고도: 최대 전력에서 ASL 2000미터. 2000미터 이상의 고도에서 최대 주변 작동 온도는 300미터 간격마다 1.1°C씩 선형적으로 감소됩니다.

기계:

장치에는 한 쌍의 제거 가능한 장착 플랜지가 제공됩니다. 이를 통해 장치를 19인치 랙 시스템에 장착할 수 있습니다.

장치는 어떤 방향으로도 작동될 수 있습니다. M5 x 23mm 보호 접지 스터드가 HV 커넥터 근처에 장착됩니다.

무게: <48.5파운드 (<22kg)

규제 승인:

IEC61010:2010 측정, 제어 및 실험실용 전기 장비에 대한 안전 요구 사항. UL61010-1:2012 측정, 제어 및 연구실용 전기 장비에 대한 안전 요구 사항 – 1부: 일반 요구 사항 및 CAN/CSA-C22.2 No.61010-1-12:2015. 이 장치는 EN61010:2010 및 EN61326-2-1:2013에 대한 CE 마크를 획득했으며 RoHS를 준수합니다.

빔 에너지 공급

출력 전압:

20V ~ 30kV, 음극. 부하 전류가 없는 상태에서 32.5kV의 조정 전압을 설정할 수 있습니다. 어떤 조건에서도 출력은 35kV를 초과하지 않습니다. 출력을 OFF로 설정하여 빔 에너지 변환기를 비활성화할 수 있습니다. 이 경우 출력은 <60V입니다.

출력 전류: 최대 200μA, 20kV~30kV

출력 전류 트립 레벨: 250μA ±10% 출력이 비활성화되고 약 1초의 지연으로 래치오프됩니다. 프로그램 전압은 0으로 설정됩니다.

정확도(전압 프로그램): 제어 범위에서 <%1 또는 ±10V(둘 중 더 큰 값)

전압 제어: 16비트, 분해능 0.5V, 풀 스케일 = 32,768V

선형성: -20~-30kV <±25V

부하 조절: 30μA~200μA 부하 변경 시 <±100mV

라인 레귤레이션: 22.8V~26.4V 라인 변경에서 <±10ppm

리플: <50mVp-p @ 0uA~200uA, 0.1Hz~20MHz

온도 계수: +10°C ~ +45°C에서 <10ppm/°C,
+20°C~+30°C에서 <5ppm/°C

안정성: 일정한 작동 조건에서 1시간 예열 후 <200mV/15분 기간.

전압 모니터: 16비트, 해상도 0.5V. 실제 출력 전압에 대한 정확도는 ±2% 또는 ±10V입니다.

전류 모니터: 12비트, 분해능 100nA, 정확도는 ±2% 또는 ±1μA입니다.

워블 진폭: %1 단위로 0~100% 변조. 여기서 100%은 최소값 ±50V인 빔 에너지 출력의 ±5%로 정의됩니다. 피크 대 피크 값은 진폭의 두 배입니다.

워블 기간: 666~2000밀리초. 1밀리초 단위로 조정 가능합니다. 주기당 16포인트의 정현파 출력입니다. 워블은 항상 제로 크로싱에서 시작하고 정지합니다.

저장된 에너지: <850mJ

필라멘트 공급:

연결: 필라멘트의 중심이 Beam Energy 출력에 연결됩니다. 출력을 꺼짐으로 설정하여 필라멘트 변환기를 비활성화할 수 있습니다.

전압: 공칭 1.8V, 최대 3V

최대 전류: 3A, 제어 범위 0.5A ~ 3A

부하 저항: 공칭 0.6Ω

정확도: 2~3A 사이에서 ± 5mA

전류 제어: 12비트, 분해능 1mA. 전체 규모 = 4.096A

선형성: 0.5A와 3A 사이에서 ± 10mA

부하 조절: 3A에서 0.4Ω~1.0Ω 변화에 대해 <5mA. (출력 리드 포함)

라인 레귤레이션: 5% 공급 전압 변경에 대해 <1mA.

선형성: 0.5A와 3A 사이에서 ± 10mA

리플: <1mAp-p, 20Hz ~ 10kHz 및 <30mV pp(약 100kHz에서 모두 0.6Ω @ 3.0A에 걸쳐)

온도 계수: <50ppm/?C

안정성: <0.5mA/60분. 일정한 작동 조건에서 1시간 동안 워밍업한 후.

전압 모니터: 12비트, 해상도 2.5V, 풀 스케일 = 10.24V.

실제 출력 전압에 대한 정확도: ±5% 또는 ±25mV

전류 모니터링: 12비트, 해상도 +/-1mA, 전체 규모 = 4.096A.

실제 출력 전류에 대한 정확도는 ±10mA입니다.

트립 OC: 개방 회로 감지, Vout > 5.2 ± 0.1V. 모든 출력이 비활성화되고 프로그램이 0으로 설정됩니다.

트립 전류: 출력 전류가 10초 동안 3.15A를 초과하면 과전류가 감지됩니다. 모든 출력이 비활성화되고 프로그램이 0으로 설정됩니다.

추출기 공급

전압: 0V ~ 10kV(빔 에너지에 대해 양수). 제어 범위 +100V ~ +10kV.

출력을 OFF로 설정하여 추출기 변환기를 비활성화할 수 있습니다.

전류: 제어 범위에 걸쳐 700μA.

전류 트립 레벨: 0~735μA 분해능 0.25μA로 프로그래밍 가능. 정확도 ±2% 또는 2μA. 모든 출력이 비활성화되고 프로그램이 0으로 설정됩니다.

정확도(전압 프로그램): 제어 범위에서 <%1 또는 ±20V(둘 중 더 큰 값)

전압 제어: 12비트, 분해능 2.5V, 풀 스케일 = 10.24kV

선형성: 제어 범위에서 ±20V

부하 조절: <±1V(10μA – 700μA 출력 전류 변화)

<100mV @ 40μA 0.1Hz~20MHz

라인 조절: +/-5% 라인 변경 시 <±5ppm

리플: 10kV, 700μA, 0.1Hz – 20MHz에서 <100mVp-p

온도 계수: <25ppm/?C

안정성: <0.3V/15분; 일정한 작동 조건에서 1시간 예열 후

램프 속도: 10V/s~1000V/s

전압 모니터: 12비트, 분해능 2.5V, 풀 스케일 = 10.24kV.

실제 출력 전압에 대한 정확도: ±%1 또는 ±20V

전류 모니터: 12비트, 해상도 0.25uA, 전체 스케일 = 1.024mA. Accura

보호: 빔 에너지 공급 및 접지에 대한 연속/간헐적인 아크.

저장된 에너지: <150mJ

억제기 공급

전압: 0V ~ 1000V(빔 에너지에 대해서는 음수).

제어 범위는 100V ~ 1000V입니다. 출력을 OFF로 설정하여 추출기 변환기를 비활성화할 수 있습니다.

전류: 제어 범위에서 <100μA.

전류 트립 레벨: 100μA ±10%(공칭 5초 지연) 모든 출력이 비활성화되고 프로그램이 0으로 설정됩니다.

정확도(전압 프로그램): 제어 범위에서 <2% 또는 ±6V(둘 중 더 큰 값)

전압 제어: 12비트, 분해능 0.25V, 풀 스케일 = 1024V

선형성: 제어 범위에서 ±5V

부하 조절: 10μA~100μA 부하 전류 변화에 대해 <120mV.

라인 조절: +/-5% 라인 변경 시 <±5ppm

리플: 제어 범위에서 <20mVpp, 0.1Hz~20MHz.

온도 계수: <50ppm/?C

안정성: <0.3V/15분; 일정한 작동 조건에서 1시간 예열 후

전압 모니터: 12비트, 분해능 0.25V, 풀 스케일 = 1.024kV.

실제 출력 전압에 대한 정확도: ±2% 또는 ±250mV

전류 모니터: 12비트, 해상도 0.25uA, 전체 스케일 = 1.024mA.

실제 출력 전류에 대한 정확도: ±10%

보호: 빔 에너지 또는 추출기에 대한 연속/간헐적 아크

저장된 에너지: <2.5mJ

진공 인터록: 진공 인터록은 빛이 광섬유에 존재할 때 만들어지는 광학 인터록입니다. 빛이 없으면 인터록이 깨지고 장치는 모든 출력을 차단합니다.

지표:

전원 켜기(전면 패널): 녹색 LED가 켜져 +24V 전원이 있음을 나타냅니다. 이 LED는 22.8~25.2V 범위에서 켜지고 범위를 벗어나면 1초 동안 깜박입니다.

진공 인터록(전면 패널): 노란색 LED가 켜져 모든 진공 인터록이 닫혔음을 나타냅니다. 장치가 고전압을 생성하려면 진공 인터록 LED가 켜져야 합니다.

보호: 모든 출력은 부하의 아크 및 지속적인 단락으로부터 보호됩니다. 출력의 절연 강도 테스트 전압 용량은 36kV이지만 출력은 이 전압을 초과할 수 없습니다.

모든 저전압 입력은 ±30V의 과전압으로부터 보호됩니다. 전원 입력은 과전압 및 역접속으로부터 보호됩니다.

과열: 10초 이상 과열 상태를 초과하는 반도체 장치는 종료를 시작하고 오류 메시지를 보냅니다.

차단 요구 사항: 빔 에너지 출력을 독립적으로 차단할 수 있습니다. 필라멘트, 억제기 및 추출기 출력(방출)을 함께 차단해야 합니다.